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        1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)
        1200加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

        參考價(jià)格

        5-10萬(wàn)元

        型號(hào)

        YHGS-I

        品牌

        上海煜志

        產(chǎn)地

        上海

        樣本

        暫無(wú)
        杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司

        金牌會(huì)員

        |

        第9年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        簡(jiǎn)介 

        1200℃加長(zhǎng)雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)是由加長(zhǎng)雙溫區(qū)管式實(shí)驗(yàn)電爐,多通道高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng),高真空分子泵系統(tǒng)等組成??蓪?shí)現(xiàn)真空達(dá)0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積、擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)。同時(shí)上海煜志良好的售后服務(wù)體系,使得該產(chǎn)品的整體評(píng)價(jià)遠(yuǎn)超同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

        主要技術(shù)參數(shù)

        爐體結(jié)構(gòu)

        整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu)

        日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

        雙層殼體結(jié)構(gòu),內(nèi)置風(fēng)冷層,有效降低外殼表面溫度

        爐蓋可開(kāi)啟,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

        電源

        電壓:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

        爐管

        高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極??;

        尺寸:Φ60/80/100*1200mm

        法蘭及支撐

        SUS304不銹鋼快速法蘭,通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

        一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

        可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

        包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

         

        加熱系統(tǒng)

        加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用;

        加熱區(qū)長(zhǎng)度:350mm*2;

        恒溫區(qū)長(zhǎng)度:450mm; 

        工作溫度:≤1150℃; 

        **溫度:1200℃;

        升溫速率:推薦≤10℃/min;

        *快升溫速度30℃/min.

        溫控系統(tǒng)

        日本富士?jī)x表,64段控溫程序,可分步、分段; 

        測(cè)溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ 

        混氣系統(tǒng)

        三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制

        內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

        管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

        每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

        通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量

        流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

        法蘭上預(yù)留一路浮子流量計(jì),流量規(guī)格0.3-3L/min

        真空系統(tǒng)

        采用雙極旋片真空泵+分子泵,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa

        復(fù)合真空計(jì)顯示,配置電阻規(guī)+電離規(guī)

        抽速:110L/s,風(fēng)冷式散熱結(jié)構(gòu)

        配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥

        可選配件

        冷水機(jī),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件等

        保修期

        整機(jī)一年保修(相關(guān)耗材除外)


        可根據(jù)客戶要求定制!


        特色與優(yōu)勢(shì)

        1.加長(zhǎng)雙溫區(qū)爐體,大大加長(zhǎng)了實(shí)驗(yàn)區(qū)域的溫度均勻性;

        2.開(kāi)啟式爐蓋設(shè)置,降低沉積溫度、加快沉積速度;

        3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質(zhì)量流量計(jì),數(shù)字顯示精確控制氣體流量;

        4.雙極旋片真空泵+分子泵,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa;

        5.配置一路浮子流量計(jì)及三路高精度質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng),可滿足不同氣氛下的實(shí)驗(yàn)要求;

        6.內(nèi)置S型熱電偶,可快速、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反應(yīng)物料的溫度變化情況;

        7.尾氣活性炭過(guò)濾處理,減少反應(yīng)氣體排放對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的影響。

        創(chuàng)新點(diǎn)

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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