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        1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)
        1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

        參考價(jià)格

        20-30萬(wàn)元

        型號(hào)

        1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

        品牌

        中環(huán)

        產(chǎn)地

        天津

        樣本

        暫無(wú)
        天津中環(huán)電爐股份有限公司

        金牌會(huì)員

        |

        第11年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        產(chǎn)品用途:

        此款CVD生長(zhǎng)系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

        產(chǎn)品組成:

        此款CVD系統(tǒng)配置:

        1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū))。

        2.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

        3.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)     

        產(chǎn)品特點(diǎn):

        1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。

        2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨(dú)有的知識(shí)產(chǎn)權(quán)**設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

        3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵

         防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

        系統(tǒng)名稱

        1200℃單/雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)

        系統(tǒng)型號(hào)

        CVD-12II-3Z/G

        CVD-12II6-3Z/G

        **溫度

        1200℃

        加熱區(qū)長(zhǎng)度

        420mm

        600mm

        恒溫區(qū)長(zhǎng)度

        280mm

        390mm

        溫區(qū)

        雙溫區(qū)

        雙溫區(qū)

        石英管管徑

        Φ50/Φ60/Φ80mm

        Φ80/Φ100mm

        額定功率

        3.2Kw

        4.8Kw

        額定電壓

        220V

        溫度控制

        國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫;

        控制精度

        ±1℃

        爐管**工作溫度

        <1200℃

        氣路法蘭

        密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù),在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在**次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

        氣體控制方式

        質(zhì)量流量計(jì)

        氣路數(shù)量

        3路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

        流量范圍

        0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

        精度

        ±1%F.S

        響應(yīng)時(shí)間

        ≤4sec

        工作溫度

        5-45℃

        工作壓力

        進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

        系統(tǒng)連接方式

        采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

        規(guī)格

        高真空

        系統(tǒng)真空范圍

        1x10-3Pa-1x10-1Pa

        真空泵

        真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額定電壓220V    功率2KW

        真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1600L/S額定電壓220V  功率2KW







        爐體外形尺寸

        340×580×555mm

        480×770×605mm

        系統(tǒng)外形尺寸

        530x1440x750mm(不含高真空)

        系統(tǒng)總重量

        330kg

         


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        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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