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Atto10手套箱是經(jīng)過驗(yàn)證的一種手套箱蒸鍍一體機(jī)，堅(jiān)固耐用的多功能設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)方案。該系統(tǒng)可以手動(dòng)和自動(dòng)操作，具有廣泛的沉積儀器選配，包括：電子束蒸發(fā)器，射頻和直流濺射源，低溫有機(jī)蒸發(fā)器和金屬蒸發(fā)器。還有許多系統(tǒng)選項(xiàng)可用，如 石英晶體監(jiān)測(cè)，高真空負(fù)載鎖和加熱，冷卻，旋轉(zhuǎn)或靜態(tài)樣品臺(tái)。本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和Lab2000手套箱系統(tǒng)集成而成，手套箱是一種與大氣隔絕的密閉環(huán)境的箱體，各種裝配操作等工作能夠通過手套在箱體里面進(jìn)行，手套箱內(nèi)部無水、無氧，只充滿了高純惰性氣體，實(shí)現(xiàn)鍍膜機(jī)和手套箱的無縫連接，解決鍍膜產(chǎn)品被水氧分子污染的問題。ATTO10一體鍍膜機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn)
既保證了高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，又在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè)。
該系統(tǒng)具有高真空壓力和抽空時(shí)間測(cè)試。
具有先進(jìn)編程能力的行業(yè)**軟件控制系統(tǒng)，系統(tǒng)的靈活性，
可以被配置為濺射系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)，OLED系統(tǒng)，熱蒸發(fā)系統(tǒng)或這些過程的任何組合。
可以集成各種光學(xué)和光譜技術(shù)，并將系統(tǒng)集成到需要惰性氣氛的研究手套箱中。
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)、微電子半導(dǎo)體、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn)、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn)、納米材料研究、催化劑研究、鈣鈦礦太陽能電池的研發(fā)。
暫無數(shù)據(jù)！
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