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日本ULVAC公司經多年的技術經驗的積累，研制開發(fā)HPS-N系列電子束蒸發(fā)電源.和電子槍控制器單元，
整體電路運行穩(wěn)定而安全.抗干擾能力強.可同時對應光學膜及金屬膜.
BEB Power Generator(電子槍電源)
1不需用冷卻水冷卻.
采用強制空冷方式，不需要冷卻水.
2高可靠性
通過安裝的整機設備后實際使用效果反饋總結.
3高速異常放電遮斷重啟功能.
采用半導體控制開關.針對異常放電，具有快速遮斷，重啟，.
起到保護電源的功能.可并保證蒸發(fā)工藝維持穩(wěn)定而高速.
用途:
金屬膜，LED電極，配線膜等真空蒸鍍.
光學膜TiO2，ZrO2，Ta2O5，防反射膜，絕緣膜，功能膜SiOx，阻隔膜SiN，柵介質AL2O3，
透明導電ITO，ZnO膜的真空蒸鍍..
參數(shù):
型號HPS-600NHPS-1000N
相數(shù)，頻率三相 50/60Hz〃
輸輸入電壓AC200～220V〃
入變動范圍AC190～231V〃
規(guī)輸入一源9.0kVA以下14.0kVA以下
格容量兩源10.0kVA以下15.0kVA以下
漏溢電流各相5mA以內〃
額定輸一源6kW10kW
出電力兩源6kW(兩源合計)10kW(兩源合計)
輸高壓可調范圍-2kV～-6kV-4kV～-10kV
出輸出穩(wěn)定率±1%以內〃
規(guī)電壓脈動率±2%p-p以內(在各個額定輸出)
格Beam可調范圍0～1000mA0～1000mA
電流變動率±2%以內(在各個額定輸出)
燈絲用電壓0～6V/12VAC〃
輸出電流0A～45Amax〃
高壓動作方式半導體元件開關方式
閃斷高壓閃斷時間1ms以內(機械性斷路約1秒斷高壓)
保護休止時間10ms以內〃
高壓啟動時間1ms以內(額定20%至80%)
冷卻方式強制風冷.〃
外形尺寸494mmW x 701mmD x 712mmH
上記尺寸不含按鍵，接口等突起部份
重量115kg120kg
暫無數(shù)據！
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