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        硅晶片氣體捕集裝置
        硅晶片氣體捕集裝置

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        型號

        品牌

        產(chǎn)地

        日本

        樣本

        暫無
        北京佳儀分析設(shè)備有限公司

        會員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

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        儀器簡介:

        ?用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的揮發(fā)性成分(有機污染物)。(SW-8400)

        ?用于捕集12吋硅晶片表面的揮發(fā)性成分(有機污染物)。(SW-12400)

        ?捕集單面硅晶片揮發(fā)性氣體,操作簡便。

        ?加熱爐采用倒懸方式(參照下圖),僅對晶片正面產(chǎn)生的氣體進行捕集采樣。

        ?加熱爐**可加熱到500℃。

        ?加熱爐封口采用O形環(huán)(聚亞胺材質(zhì))密封,無泄露。

        ?一般采用PAT(內(nèi)容積10ml,填充2.5g Tenax GR)捕集氣體。也可選用其他廠家的相應(yīng)捕

        集采樣管進行采樣。

        ?配備冷卻水循環(huán)裝置。

        ?配備防過熱裝置、聯(lián)鎖安全裝置、急停按鈕、漏水傳感器(選配)等安全防范裝置。

        技術(shù)參數(shù):

        方式 : 倒懸方式

        捕集硅晶片尺寸: 8"或6",5"以下需添加擴充環(huán)(12400型,12")

        O形環(huán):封口部直徑220mm(聚亞胺)

        石英加熱爐: 透明石英材質(zhì)

        加熱爐加熱方式: 頂板?底板獨立加熱方式

        加熱爐使用溫度: 常用400℃(**可達500℃)

        加熱爐冷卻: 冷卻水循環(huán)裝置

        保溫管: 內(nèi)表面惰性化鍍層處理

        吹掃氣: 通常用氮氣,**使用流量500ml/min

        防過熱裝置: 電流15A,感應(yīng)電流30mA

        急停按鈕: 紅色,蘑菇型

        安全裝置: 聯(lián)鎖結(jié)構(gòu)

        加壓方式: 電機驅(qū)動

        設(shè)備尺寸: 1140(W)×1106(H)×750(D)mm

        電源: 單相AC200V、15A?AC100V、20A

        重量: 280 Kg

        標準附件:

        PAT(一級吸附管): 2支(與其它公司捕集管不配套)

        PAT架: 1個(與其它公司捕集管不配套)

        PAT適配器: 1個(與其它公司捕集管配套使用)

        O形環(huán): 2個

        冷卻水循環(huán)裝置: 1臺(附標準配管)

        保溫管: 1支

        氣體配管: 1套(1/16"-1/8")

        纜線: 1套

        工具: 1套

        操作說明書: 1冊

        *SW-12400型的技術(shù)規(guī)格請垂詢。

        主要特點:

        ?用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的揮發(fā)性成分(有機污染物)。(SW-8400)

        ?用于捕集12吋硅晶片表面的揮發(fā)性成分(有機污染物)。(SW-12400)

        ?捕集單面硅晶片揮發(fā)性氣體,操作簡便。

        ?加熱爐采用倒懸方式(參照下圖),僅對晶片正面產(chǎn)生的氣體進行捕集采樣。

        ?加熱爐**可加熱到500℃。

        ?加熱爐封口采用O形環(huán)(聚亞胺材質(zhì))密封,無泄露。

        ?一般采用PAT(內(nèi)容積10ml,填充2.5g Tenax GR)捕集氣體。也可選用其他廠家的相應(yīng)捕

        集采樣管進行采樣。

        ?配備冷卻水循環(huán)裝置。

        ?配備防過熱裝置、聯(lián)鎖安全裝置、急停按鈕、漏水傳感器(選配)等安全防范裝置。

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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