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        YAMATO高溫無氧烘箱/厭氧高溫氣氛爐DTN系列
        YAMATO高溫無氧烘箱/厭氧高溫氣氛爐DTN系列

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        產地

        日本

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        浚和(上海)儀器有限公司

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        潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。

        特點:
        ● MAX工作溫度 360℃和 500℃、潔凈度 100 級、氧濃度低于20ppm,主要應用于固化半導體晶圓(光刻膠 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
        ● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內潔凈度始終保持在 100 級,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
        ● 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。
        ● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
        ● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調節(jié)。
        ● 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
        安全性:
        ●擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置。
        規(guī)格:

        本體各部分的名稱和功能:

        ■操作面板各部位名稱和功能:

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