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        太赫茲材料THz materials
        太赫茲材料THz materials

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        上海屹持光電技術(shù)有限公司

        會(huì)員

        |

        第2年

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        太赫茲 (THz) 波是頻率為~0.1-10 THz (~3 mm - 30 μm, 3 cm-1 - 300 cm-1) ,介于微波和中紅外區(qū)域的電磁波。和可見和紅外光相比,THz波可以穿透常規(guī)的材料,如:皮膚,塑料,衣服或者紙材料。由于光子能量低,因此,他不會(huì)造成和離子輻射(X光)一樣的損害。這些特點(diǎn)使其能夠應(yīng)用在處理(如藥物生產(chǎn)),質(zhì)量控制以及THZ成像領(lǐng)域?,F(xiàn)在也很多人想把它應(yīng)用在安保,包裹檢查,半導(dǎo)體特征分析,化學(xué)組成分析以及生物研究領(lǐng)域。

        對(duì)于傳統(tǒng)的THz應(yīng)用,我們采用High Resistivity Float Zone Silicon (HRFZ-Si)材料,因?yàn)樗茄芯康?多的材質(zhì),而且在THz波段有很好的透過(guò)率。同時(shí),我們也研究了可應(yīng)用在THz波段的其他材料。

        在下面,你就能看到我們采用的其他材料在THz波段的透射光譜和其他特點(diǎn)。我們用ABBFTIR光譜儀Bomem DA3Bruker IFS 125HR (測(cè)量精度為2-3%@< 100 μm4-5% @> 100 μm)來(lái)測(cè)量THZ波。近紅外的測(cè)量采用Perkin Elmer “Lambda- 9” (測(cè)量精度< 0.5%)。

        1, 晶體

        晶體如硅,石英和藍(lán)寶石在THZ光學(xué)元件中都是常用的材料。

        1.1 高阻硅(HRFZ-Si)

        除了人造鉆石,高阻硅是**的適合極寬范圍從(1.2 μm) 到mm (1000 μm)波的各項(xiàng)同性晶體材料。和鉆石相比,它要便宜的多,并且生長(zhǎng)制造更容易。而且他尺寸更大,更容易制造,THZ技術(shù)的快速發(fā)展,就基于該優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于THZ應(yīng)用,我們提供在1000 μm (對(duì)于更長(zhǎng)波長(zhǎng),3000甚至8000微米)透過(guò)率達(dá)到50-54%的High Resistivity Float Zone Silicon (HRFZ-Si)。

        Fig.1 Transmission and reflection of HRFZ-Si 5.0 mm-thick sample in THz range.

        HRFZ-Si 在THZ波段傳輸損耗低。如圖2所示,HRFZ-Si 中的THZ波形和空氣中的波形非常相似。這表明HRFZ-Si 的吸收很少。

        Fig.2 The THz signals transmitted through air and HRFZ-Si.(*)

        合成電解質(zhì)硅的介電常數(shù)由傳導(dǎo)率決定(例如:自由電子-載流子濃度)。圖3顯示的是在1THZ下,不同純度下的硅的介電常數(shù).低摻雜的介電常數(shù)接近真實(shí)值,大約等于高頻介電常數(shù)。隨著摻雜濃度的提高,真實(shí)的介電常數(shù)將變成負(fù)數(shù),而且不能被忽略。介電常數(shù)表征的是THZ波的傳輸損耗特性。損耗系數(shù)可以用下面的公式計(jì)算:tanδ=1/(ω*εv*ε0*R), 這里 ω – 圓頻率, εv – 真空下的介電常數(shù)(8.85*10-12 F/m)。ε0 –硅的介電常數(shù)(11.67), R是電阻值。例如,1THZ下,10 kOhm 阻值的HRFZ-Si損耗系數(shù)為1.54*10-5。

        Fig.3 Real (solid, ε1) and imaginary (dashed, ε2) part of dielectric permittivity of n-type silicon with different impurity concentration at 1 THz.(**)

        1.2石英晶體

        Z-cut的石英晶體是傳輸50 μm以上波長(zhǎng)的**材料之一。Z-cut的石英晶體窗口鏡傳輸可見光,很容易用He-Ne激光器來(lái)調(diào)準(zhǔn)直。

        Fig.4 Transmission and reflection of crystal quartz 1.0 mm-thick sample.

        由于色散非常大,石英晶體材料的透鏡將對(duì)可見和遠(yuǎn)紅外的產(chǎn)生不同的焦距。如果需要對(duì)光學(xué)系統(tǒng)準(zhǔn)直,那就必須考慮透鏡的色散:

        波長(zhǎng), μm

        no

        ne

        0.589

        1.544

        1.553

        6.0

        1.32

        1.33

        10.0

        2.663

        2.571

        30.0

        2.5

        2.959

        100.0

        2.132

        2.176

        200.0

        2.117

        2.159

        333.3

        2.113

        2.156

        石英晶體是雙折射材料,如果電磁波的偏振態(tài)很重要,那就必須考慮雙折射問題。我們用X-cut的石英晶體來(lái)制作λ/2和λ/4的THZ波片。

        1.3藍(lán)寶石

        藍(lán)寶石和石英晶體一樣,對(duì)于THZ波段和可見光波段是透明的。可以從下面圖看出,對(duì)于>600 μm波段,光譜傳輸曲線并不取決于厚度的測(cè)量誤差。在小于600 μm 波段,樣品的厚度從1到5mm,透過(guò)率變化很大。對(duì)于薄的樣品,在很短的波長(zhǎng),透過(guò)率就已經(jīng)飽和了。

        Fig. 5 Transmission and reflection of sapphire samples with different thickness.

        就象 HRFZ-Silicon一樣,Eachwave提供的藍(lán)寶石也可以在光電導(dǎo)天線上,因?yàn)樗麄儗?duì)于THZ波段的折射率幾乎一樣。

        2.聚合物

        在大量聚合物中,有一些對(duì)THZ波是透明的,反射率很低。一般意義上說(shuō),**的材料是TPX (polymethylpentene), polyethylene (PE), polypropylene (PP),和polytetrafluoroethylene (PTFE or Teflon).對(duì)于長(zhǎng)波長(zhǎng),這些聚合物的透過(guò)率曲線也很平坦。 對(duì)于短波長(zhǎng),主要是<200 μm,內(nèi)部的不均勻性就會(huì)導(dǎo)致一些散射和波動(dòng)。也就是說(shuō),聚合物對(duì)短波長(zhǎng)呈現(xiàn)出不透明的特點(diǎn)。

        2.1 Polymethylpentene (TPX)

        TPX 是所有已知聚合物中*輕的。它對(duì)紫外,可見和THZ波段是透明的。當(dāng)然也就是可以用He-Ne激光器來(lái)進(jìn)行準(zhǔn)直。該聚合物折射率約為1.46,和波長(zhǎng)關(guān)系不大:

        λ, μm

        n

        0.633

        1.463

        24

        1.4568

        60

        1.4559

        300

        1.46

        667

        1.46

        1000

        1.4650

        3191

        1.466

        TPX對(duì)mm波的傳輸損耗非常低。它有非常優(yōu)良的熱阻,并且能抗一些商用的化學(xué)品的腐蝕。

        Fig. 6 Transmission of TPX 2 mm-thick sample. THz region.

        Fig. 7 Transmission of TPX 2 mm-thick sample. NIR&MIR regions.

        Fig. 8 Transmission of TPX 2 mm-thick sample. UV&VIS&NIR ranges.

        TPX的主要參數(shù):

        密度, g/cm3

        0.83

        抗張強(qiáng)度

        4100 psi ~28.3 MPa

        拉伸模量

        280000 psi ~1930.5 MPa

        抗張伸展率, %

        10

        繞曲強(qiáng)度

        6100 psi 42.1 MPa

        繞曲模量

        210000 psi 1447.8 MPa

        熱偏溫度, °C

        100

        融化溫度, °F/°C

        464/240

        吸水率 (ASTM-D 1228), %

        <0.01

        透水汽性 (thk 25 μm, 40C, 90%RH), g/m2*24h

        110

        透氣性y (thk 100 μm), cm3/m2*d*MPa

        120000

        TPX是很硬的固體材料,可以用來(lái)加工成不同的光學(xué)元件,如透鏡和窗口鏡。而且通常TPX還可用在CO2激光泵浦分子激光的系統(tǒng)中作為輸出窗口鏡。因?yàn)樗鼘?duì)整個(gè)THZ波段都是透明的,并且可以反射10微米的泵浦光。TPX窗口鏡還可以在低溫保持器中作為“冷”窗口。因?yàn)門PX在THZ波段的透明度和溫度無(wú)關(guān),折射率的溫度系數(shù)3.0*10-4 K-1 (for the range 8-120 K)。

        Fig. 9 Temperature dependence of refractive index.(***)

        和其他用在THZ波段的材料比較,TPX的特性更好,例如它是Picarin (Tsurupica)透鏡很好的替代品。另外,屹持光電提供的TPX更便宜,而且比Picarin更容易獲得。

        Fig. 10 Transmission of 2 mm-thick samples of TPX, Picarin, and HDPE.

        2.2 Polyethylene (PE)

        PE是輕的彈性晶體材料。它可以加熱到110°C,也可以冷卻到-45 ÷ -120°C。PE擁有良好的介電特性,防腐蝕性和抗輻射性。但是,它在紫外波段和油膩的環(huán)境下不夠穩(wěn)定。在生物學(xué)上來(lái)講,PE很不活躍,很容易處理。在23°C下密度為0.91-0.925 g/cm3,張力流限為8-13 MPa,彈性模數(shù)為118 - 350 MPa,在很寬的光譜范圍內(nèi)折射率都約為1.54。通常,高密度的polyethylene (HDPE)也來(lái)作為組件材料。除了作為厚透鏡和窗口鏡,薄的HDPE還可用來(lái)作為THZ偏振片。我們用HDPE作為Golay Cell的窗口鏡。

        Fig. 11 Transmission of 2 mm-thick HDPE sample. THz region.

        Fig. 12 Transmission of 2 mm-thick HDPE sample. NIR&MIR region.

        Fig. 13 Transmission of 2 mm-thick HDPE sample. VIS&NIR region.

        很遺憾, HDPE對(duì)可見光的透過(guò)率非常低,因此,它不能用來(lái)作為光學(xué)系統(tǒng)的準(zhǔn)直元件。

        我們還應(yīng)該注意到HDPE的THZ透射率并不取決于溫度,因此可以作為低溫保持器的窗口鏡。折射率的溫度系數(shù)為6.2*10-4 K-1 (for the range 8-120 K)。

        Fig. 14 Temperature dependence of refractive index (***)

        2.3Polytetrafluoroethylene (PTFE, Teflon, in Russian - Ftoroplast)

        PTFE 在室溫下是一種白色的固體,密度約為2.2 g/cm3。熔點(diǎn)為327°C, 在-73°C 到 204°C溫度范圍內(nèi)它的主要特點(diǎn)都差別不大,在比較寬的波段范圍內(nèi),折射率都約為1.43。

        Fig. 15 Transmission of PTFE film ~0.1 mm-thick. THz region.

        Fig. 16 Transmission of PTFE film ~0.1 mm-thick. NIR&MIR region.

        由于對(duì)1-7 μm波段范圍內(nèi)透明度都很高,PTFE薄片通常用來(lái)制作IR偏振片。這種偏振片的價(jià)格比晶體材料的便宜。這樣就使他們?cè)贗R偏振應(yīng)用中能夠得到大量使用。

        PTFE的主要參數(shù):

        抗張強(qiáng)度

        3900psi

        ~26.7 Mpa

        拉伸模量

        8000psi

        ~551.6 MPa

        抗張伸展率 (%)300
        繞曲強(qiáng)度 (psi)No break
        繞曲模量 (psi)72000
        耐壓強(qiáng)度 (psi)2500
        耐壓系數(shù) (psi)70000

        總結(jié):

        所有屹持光電提供的的有機(jī)材料,如TPX, PE和PTFE從~200 μm到1000 μm都有幾乎一致的透過(guò)率,達(dá)到80-90%。當(dāng)然,他們也可以傳輸更長(zhǎng)的波長(zhǎng)。

        由于反射損耗,晶體材料如硅,石英和藍(lán)寶石在THZ波段的透過(guò)率很低。對(duì)于硅材料,從50 μm開始,透過(guò)率為50-54%;對(duì)于石英,從120 μm開始,透過(guò)率>70%;對(duì)于1-2mm厚的藍(lán)寶石,從350 μm開始透過(guò)率>50%。

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