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        HORIBA橢圓偏振光譜儀
        HORIBA橢圓偏振光譜儀

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        暫無
        優(yōu)尼康科技有限公司

        會(huì)員

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        第2年

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        全自動(dòng)化&高集成度&可視化光斑

        一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具。采用工業(yè)化設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單,可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析,并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

        1
        主要特點(diǎn)

        1. 液晶調(diào)制技術(shù),無機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件,重復(fù)性,信噪比高

        2. 技術(shù)成像系技術(shù),所有樣品均可成像,對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡(jiǎn)單.

        3. 反射式微光斑,覆蓋全譜段,利于非均勻樣品圖案化樣品測(cè)試

        4. 全自動(dòng)集成度高,安裝維護(hù)簡(jiǎn)便

        5. 一鍵式操作軟件,快速簡(jiǎn)單

        6. 自動(dòng)MAPPING掃描,分析樣品鍍膜均勻性

        2
        技術(shù)參數(shù)

        1. 光譜范圍:450-1000 nm

        2. 多種微光斑自動(dòng)選擇

        3. 光斑可視技術(shù),可觀測(cè)任何樣品表面

        4. 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

        5. 70度角入射

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