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1.主要的譜線超過10E15 photons/sec/ster
2.可以提供25nm以下波段的極紫外燈源
3.便攜，質量小于1mg
4.可以連接單色儀，變成可調光源
5.雜散光低等。
極紫外EUV光源可以用在生物、化學、物理等研究領域，如有需求我司，謝謝。
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