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主動(dòng)減振臺-減振臺-HERZ

主動(dòng)隔振系統(tǒng)是通過持續(xù)感應(yīng)輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除來運(yùn)作。在每個(gè)系統(tǒng)中，至少有六個(gè)振動(dòng)傳感器，壓電加速度計(jì)，用于感應(yīng)檢測儀器的振動(dòng)。它們的信號被送入中央處理器，該中央處理器將信號整合起來，并向執(zhí)行器發(fā)送一個(gè)消除信號。舊的執(zhí)行器是音圈執(zhí)行器（揚(yáng)聲器）；新的執(zhí)行器是壓電傳感器，其產(chǎn)生的振動(dòng)與輸入振動(dòng)相等且異相，消除了輸入的振動(dòng)。有一組彈簧支撐系統(tǒng)，提供被動(dòng)隔振。該系統(tǒng)具有反饋回路，可以抑制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)共振。該反饋回路消除了每個(gè)被動(dòng)隔振系統(tǒng)中出現(xiàn)的低頻共振和附帶共振。

HERZ主動(dòng)隔振系統(tǒng)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

- 無低頻共振

- 低頻隔振

- 內(nèi)部反饋回路抑制所有機(jī)械共振

- 六自由度隔振（而不僅僅是X， Y， 和Z)

- 反饋系統(tǒng)不需要調(diào)整到振動(dòng)水平

- 響應(yīng)時(shí)間5 ~ 20 毫秒

- 不需要空氣

- 緊湊型

主要應(yīng)用于：

原子力顯微鏡

掃描探針顯微鏡

干涉測量

熒光顯微鏡

摩擦學(xué)和納米壓痕測試

高精度測量

高分辨率顯微鏡

輪廓測量

試管受精

此外，TS系列還有多個(gè)升級選項(xiàng)可供選擇，如：

工作臺集成

（包括架子，監(jiān)控器支架，鍵盤托盤等）

隔音箱集成

(如靜噪器，AEK-2002及定制隔音設(shè)備)

定制面板尺寸及材料

（通常為阻尼鋁板，面板可定制不銹鋼，鐵磁鋼，可打孔）

振動(dòng)器集成（激勵(lì)源）

遠(yuǎn)程顯示

（重量分布，內(nèi)部電機(jī)調(diào)平，X/Y/Z軸振動(dòng)水平，啟動(dòng)/關(guān)閉組件，開關(guān)隔振臺）

遠(yuǎn)程電源

（免受電磁噪音或熱量干擾）