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等離子體監(jiān)控系統(tǒng)
PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀，實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測量，通過高級過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法，只需3ms就可以獲得測量結(jié)果。
1、光學(xué)分辨率1.0nm(FWHM)
2、光譜范圍 200-1100nm
3、快速的建模及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測等，能夠快速簡單的構(gòu)建模塊過程控制。
隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能?？蛇x的波長發(fā)生器（可以單獨(dú)購買）用于類型確認(rèn)，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過程控制信息。
| 光譜范圍: | 200-1100 nm |
| 光學(xué)分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 轉(zhuǎn)換: | 14 bit |
| 數(shù)字I/O: | 8 x TTL |
| 模擬輸出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ 1.25 A |
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