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單向退火爐
退火目的是什么?在高溫(1750)加熱狀態(tài)下，通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列，同時清除一些晶格內(nèi)部缺陷，從而釋放內(nèi)部應(yīng)力，為后續(xù)加工奠定良好的基礎(chǔ)。晶體退火恒溫時間為36小時，每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翹曲低于1絲，線小于2室米、內(nèi)應(yīng)力、崩邊現(xiàn)象及線痕度得到很大的提升，加工后的晶片成品率也達(dá)到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同時延長了晶棒的切割線的使用壽命.
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