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SCG400系列半導體級單晶硅爐品牌
南京晶升產(chǎn)地
江蘇樣本
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◆ 設備具有大尺寸、高抽速的真空設計；
◆ 配備先進的液面距測量、寬幅爐壓精確控制、氧化物處理等系統(tǒng)；
◆ 生長晶體可滿足12英寸重摻硅片、12-18英寸硅單晶耗材指標的要求。
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