參考價格
面議型號
超高真空管道傳輸設(shè)備品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
暫無生產(chǎn)能力：
-空氣速度：
-輸送能力：
-輸送距離：
-工作原理：
其他看了超高真空管道傳輸設(shè)備的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備是針對生產(chǎn)企業(yè)實驗室和產(chǎn)線研發(fā)的一系列高性能、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設(shè)備采用多個真空腔室互聯(lián)的設(shè)計，通過Cluster內(nèi)置的三維機械手實現(xiàn)晶圓的傳輸，可搭配多個濺射室或處理腔室，適用于生產(chǎn)產(chǎn)線或?qū)嶒灳€。
性能參數(shù)
晶圓尺寸 | 8吋向下兼容 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-10mbar |
| 對接口 | 每節(jié)管道可連接一套系統(tǒng)，對接口CF250及以下。 |
| 傳輸裝置 | 磁力傳輸，可同時傳輸多片 |
| 進樣室 | 可選配獨立進樣室 |
| 校準裝置 | 光電傳感器 |
| 真空系統(tǒng) | 機械泵+分子泵，可選離子泵等 |
控制系統(tǒng) | PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護,真空互鎖等 |
暫無數(shù)據(jù)！
超高真空管道傳輸設(shè)備的工作原理介紹？超高真空管道傳輸設(shè)備的使用方法？超高真空管道傳輸設(shè)備多少錢一臺？超高真空管道傳輸設(shè)備使用的注意事項超高真空管道傳輸設(shè)備的說明書有嗎？超高真空管道傳輸設(shè)備的操作規(guī)程有嗎？超高真空管道傳輸設(shè)備的報價含票含運費嗎？超高真空管道傳輸設(shè)備有現(xiàn)貨嗎？超高真空管道傳輸設(shè)備包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
