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9NP系列高性能氣體純化器采用的是?；齑呋瘎┘夹g(shù)，通過化學(xué)反應(yīng)和物理吸附相結(jié)合的辦法在常溫下將工藝氣體中的H20.02CO,CO2,H2,NMHC等雜質(zhì)去除到1ppb以下，并且在內(nèi)表面電化學(xué)拋光的316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為0.003微米的顆粒過濾器。
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