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核心技術：
超高膜厚勻性控制工藝與設備技術；
超低溫成膜工藝與對應之設備技術；
**射頻等離子體清潔工藝；
簡介： 九大**： 客制化精密零件、自主研發(fā)、**遠端監(jiān)控、雙變頻電控系統(tǒng)、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統(tǒng)、關鍵數據趨勢圖 先進性： 干泵結構的優(yōu)化設計以降低能耗； 零件采用特殊涂層，增加抗腐蝕能力； 新型冷卻結構及內建熱氮氣吹掃功能模式
核心技術：
超高膜厚勻性控制工藝與設備技術；
超低溫成膜工藝與對應之設備技術；
**射頻等離子體清潔工藝；
先進性：
自有IP特殊Pre-treatment電極設計；
保證立體結構的完整包覆是借由設計TS Distance的優(yōu)化，**的shielding box設計以及工藝參數的優(yōu)化來達成；
獨特的cathode設計特點
簡介： 九大**： 客制化精密零件、自主研發(fā)、**遠端監(jiān)控、雙變頻電控系統(tǒng)、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統(tǒng)、關鍵數據趨勢圖 先進性： 干泵結構的優(yōu)化設計以降低能耗； 零件采用特殊涂層，增加抗腐蝕能力； 新型冷卻結構及內建熱氮氣吹掃功能模式
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