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PNH系列—氨氣純化器品牌
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純化系列 | 脫除雜質(zhì)ppb | ||||||||
氣體 | 型號(hào) | 純化工藝 | O2 | H2O | CO2 | NMHC | |||
NH3 | PNH | 吸附 (Absorb) | <1 ppb | <1 ppb | <1 ppb | <1 ppb | |||
應(yīng)用領(lǐng)域：
純化用于半導(dǎo)體、LED應(yīng)用的氨氣
工藝介紹：
PH21氨氣純化器通過(guò)吸附工序，采用雙吸附容器，深度脫除工藝氣體中的O2、H2O、CO2、NMHC，純化和再生模式交替進(jìn)行，提供對(duì)工藝氣的連續(xù)純化。
PH21系列氨氣純化系統(tǒng)通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)原位再生和先進(jìn)的技術(shù)，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脫除NH3中的污染雜質(zhì)，滿足客戶現(xiàn)場(chǎng)需求
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