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AW-ZP系列在線式射頻等離子清洗機品牌
奧威贏產地
江蘇樣本
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產品特性
清洗時間短，無濺射損傷和高溫損傷
完善的故障報警功能，提示故障項目和故障工位，便于維修
可實現MES系統(tǒng)傳輸(選配)
設備參數分級管理，提高操作安全性
屏幕動畫顯示全線工作狀態(tài)，運行過程實時監(jiān)控
主要針對引線框架特性，配備自動取片、傳輸、送片等輔助功能
巧妙結構設計，解決來料料片軟硬度不一致導致的傳輸卡料損壞問題
自動組件轉換，可兼容不同來料片的清洗
高自動化，可實現同側進出或左進右出洗料，減少人為因素影響，
在便于跟蹤洗料效果的同時降低二次污染
| 產品型號 | AW-ZP04 | AW-ZP04A |
| 外形尺寸(含報警燈塔) | L1700×W1100×H1950(mm) | |
| 反應倉尺寸(鋁合金) | L550×W320×H65(mm) | L450×W350×H50(mm) |
| 等離子體發(fā)生器 | 頻率13.56MHz,功率0-600W/1000W可調，自動阻抗匹配 | |
| 氣路系統(tǒng) | 制程氣體(O?/Ar/H?),MFC質量流量計控制，氣體流量0-200ml/min可調 | |
| 控制系統(tǒng) | 觸摸屏+PLC全自動控制，手動+自動兩種操作模式(可選配工控機，實現MES系統(tǒng)連接) | |
| 兼容料片尺寸 | 長150-300(mm),寬30-100(mm) | 長105-155(mm),寬30-80(mm) |
| 清洗效率 | 4道4片，UPH大于500片/小時 | 4道8片，UPH約800片/小時 |
| 針對產品工藝 | 集成電路IC封裝工藝 | LED封裝工藝 |
| 備注 | 可按客戶需求彈性設計 | |
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