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100-150萬元型號
BF220-17NH品牌
智熱裝備產(chǎn)地
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靜電卡盤又稱靜電吸盤（ESC），是半導(dǎo)體設(shè)備中價值比較高的部件之一；用于半導(dǎo)體工藝中的硅片夾持，利用靜電吸附原理來固定硅片。近年來，隨著國家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國半導(dǎo)體設(shè)備采購額逐年增加，推動了包括靜電吸盤（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購量增長。此外，隨著中國大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，中國成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心，帶動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長，為國產(chǎn)靜電吸盤（ESC）的發(fā)展提供了良好的機(jī)遇。
陶瓷靜電卡盤由含有置入其內(nèi)的至少一個電極層的陶瓷圓盤構(gòu)成，通常使用多層陶瓷共燒工藝進(jìn)行制備，采用絲網(wǎng)印刷導(dǎo)電漿料（鎢、鉬）在一個或多個陶瓷生坯片（氧化鋁或氮化鋁材質(zhì)）上形成電極。將印刷好的生坯片按照要求進(jìn)行疊層共燒后，經(jīng)過精加工得到陶瓷圓盤。
為解決燒結(jié)設(shè)備依賴進(jìn)口的問題，我司通過多年積攢的高溫氣氛燒結(jié)設(shè)備制造經(jīng)驗，結(jié)合國外設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)，研發(fā)制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設(shè)備，專門用于靜電卡盤的高溫共燒工藝，有效尺寸達(dá)Φ750×H500。
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