參考價(jià)格
面議型號(hào)
SEM納米探針臺(tái)品牌
安徽澤攸產(chǎn)地
安徽樣本
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SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡(jiǎn)單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。
SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)無(wú)需潤(rùn)滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭,實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。
? 主要參數(shù)
▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場(chǎng)發(fā)射SEM,保證電鏡安全性
▲ 探針驅(qū)動(dòng)方式:PZT壓電陶瓷
▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm
▲ 細(xì)調(diào)行程:3um
▲ 細(xì)調(diào)*小步長(zhǎng):≤1nm
▲ 控制模式:開(kāi)環(huán)/閉環(huán)
▲ 探針數(shù)量:*多支持8探針
▲ 制冷系統(tǒng)(選配功能):熱臺(tái)200℃;冷臺(tái)-60℃(TEC);冷臺(tái)-170℃(液氮)
主要配置
壓電探針臺(tái)、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環(huán)選配)、壓電冷臺(tái)(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(tǒng)(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等
結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長(zhǎng)使用壽命
內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋
應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等
適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等
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國(guó)產(chǎn)電子束光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)自主可控,是實(shí)現(xiàn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的重要一環(huán)。近日,澤攸科技聯(lián)合松山湖材料實(shí)驗(yàn)室開(kāi)展的全自主電子束光刻機(jī)整機(jī)的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目取得重大進(jìn)展,成功研制出電子束光刻系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了
在科技創(chuàng)新的浪潮中,澤攸科技以其研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新精神,不斷推動(dòng)著儀器行業(yè)的發(fā)展。6月12日,我們迎來(lái)了一個(gè)具有里程碑意義的時(shí)刻——澤攸科技銅陵公司正式喬遷至東市電子創(chuàng)業(yè)園,這不僅是公司發(fā)展歷程中的一個(gè)新