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面議型號
PE-CVD系統(tǒng)品牌
賽瑞達產(chǎn)地
江蘇樣本
暫無溫控精度：
±1℃最高溫度：
650℃額定溫度：
-非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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工藝規(guī)范
◆繞鍍：<1mm
◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)
◆成膜種類：SiNx,SiONx,POLY
硬件規(guī)格
◆溫區(qū)數(shù)量：6個溫區(qū)
◆**溫度：650℃
◆溫度均勻性：300℃~650℃±1℃
◆晶圓裝載法：槳軟著陸
◆工藝腔的材質(zhì)：石英
主要特點
◆產(chǎn)能：616~768pcs/管(雙舟)
◆管數(shù)：6管
◆壓力控制：APC控制方式
◆系統(tǒng)控制：PLC和PC工控機
◆通訊：Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動化集成：用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動化解決方案
優(yōu)點
◆快速的工藝認證，允許極高的生產(chǎn)提升
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩(wěn)定使用
暫無數(shù)據(jù)！
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