參考價格
面議型號
MX-SSG 半導體晶圓研拋一體設備品牌
蘇州邁為產(chǎn)地
江蘇樣本
暫無粉碎程度:
其他單位能耗:
-產(chǎn)量:
-裝機功率(kw):
-成品細度:
-入料粒度(mm):
-工作原理:
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該設備用于8英寸、12英寸半導體晶圓減薄、拋光工藝。
基本信息
1. 適用產(chǎn)品:8/12inch 硅基晶圓減薄、拋光
2. 可對應*薄產(chǎn)品:≥50μm(DBG工藝:≥25μm)
3. 研磨速度:0.01μm/s~80μm/s
4. 適用物料厚度:≤1.8mm
5. 加工品質(zhì):TTV≤2.5μm,WTW 士2.5μm,Ra≤0.005μm
暫無數(shù)據(jù)!