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        【論壇報告】清華大學(xué) 潘偉教授《半導(dǎo)體裝備用陶瓷材料與關(guān)鍵部件》


        來源:中國粉體網(wǎng)   山川

        [導(dǎo)讀]  中國粉體網(wǎng)將在鄭州舉辦“2021第四屆新型陶瓷技術(shù)與產(chǎn)業(yè)高峰論壇”。屆時,來自清華大學(xué)的潘偉教授帶來題為《半導(dǎo)體裝備用陶瓷材料與關(guān)鍵部件》的報告。

        中國粉體網(wǎng)訊  在半導(dǎo)體芯片設(shè)備中,精密陶瓷零部件的成本約占10%左右。半導(dǎo)體零部件設(shè)備陶瓷零部件的生產(chǎn),由于涉及OEM廠家認(rèn)證問題,所以屬于高門檻行業(yè)。國際上,高端陶瓷部件50~60%被Kyocera、CoorsTek、AM公司壟斷,其他還有美國日本東芝陶瓷,Ceratech、Finceratech,Coalition Technology,摩根等。就美國應(yīng)用材料公司而言,其代工廠主要集中在美國本土、日本、臺灣、韓國等。我國半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)最近十幾年的發(fā)展速度非?欤壳叭珖呀(jīng)有上百家半導(dǎo)體的設(shè)計或生產(chǎn)工廠。


        中美脫鉤大環(huán)境下國內(nèi)高科技企業(yè)面臨禁售限制。由于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)長期壟斷在幾個發(fā)達(dá)國家,其中應(yīng)用的各種陶瓷零部件的生產(chǎn)廠家也主要在國外,雖然為了降低成本有些國外企業(yè)在中國辦廠生產(chǎn)部分部件,但技術(shù)還是掌握在外企中。按照目前的國際環(huán)境發(fā)展趨勢,未來半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件必須實現(xiàn)本土研發(fā)、生產(chǎn)與采購。


        2021年8月13-14日中國粉體網(wǎng)將在鄭州舉辦“2021第四屆新型陶瓷技術(shù)與產(chǎn)業(yè)高峰論壇”。屆時,來自清華大學(xué)潘偉教授帶來題為《半導(dǎo)體裝備用陶瓷材料與關(guān)鍵部件》的報告。在報告中,潘偉教授將介紹半導(dǎo)體設(shè)備中氧化鋁、氮化鋁、碳化硅等陶瓷部件的應(yīng)用和技術(shù)以及國際上主要的企業(yè),以及國內(nèi)的精細(xì)陶瓷在半導(dǎo)體芯片設(shè)備零部件的挑戰(zhàn)與機遇!(鑒于當(dāng)前防控需要,原定于2021年8月13-14日在鄭州喆鵬酒店舉辦的“第四屆新型陶瓷技術(shù)與產(chǎn)業(yè)高峰論壇”將延期舉辦,計劃參會的單位可以聯(lián)系會務(wù)組,具體舉辦日期主辦方確定后將第一時間通知您。




        專家介紹:


        潘偉,清華大學(xué)教授,博導(dǎo),1982年畢業(yè)于北京科技大學(xué)物理化學(xué)系,1987年在日本名古屋大學(xué)獲工學(xué)碩士學(xué)位,1990年在日本名古屋大學(xué)獲工學(xué)博士學(xué)位。


        目前主要從事高溫結(jié)構(gòu)陶瓷材料,高溫?zé)嵴贤繉硬牧、材料物理化學(xué)、陶瓷基復(fù)合材料、梯度功能材料、材料界面現(xiàn)象、金屬與陶瓷的連接、材料制備熱力學(xué)、動力學(xué)、數(shù)理模型、高溫材料熱分析技術(shù)工作。


        發(fā)表論文360余篇,其中SCI收錄論文343篇,獲得授權(quán)發(fā)明專利34項,著作6本。在相關(guān)國際學(xué)術(shù)大會上做特邀報告三十余次。


        (中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川)

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        推薦8

        作者:山川

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