中國粉體網(wǎng)訊  近日，據(jù)六方半導(dǎo)體消息，公司聚焦碳化硅涂層技術(shù)，突破國外技術(shù)壟斷，實(shí)現(xiàn)了碳化硅涂層產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的部分國產(chǎn)替代。

據(jù)悉，六方科技創(chuàng)始人、甬江實(shí)驗(yàn)室熱場(chǎng)材料創(chuàng)新中心主任何少龍博士申報(bào)的項(xiàng)目“超高純耐高溫耐腐蝕陶瓷涂層材料研究及應(yīng)用探索”通過答辯，被納入“尖兵領(lǐng)雁”研發(fā)攻關(guān)計(jì)劃，獲得浙江省重大科創(chuàng)平臺(tái)省級(jí)財(cái)政補(bǔ)助資金2000萬。

項(xiàng)目主要聚焦碳化硅、碳化鉭、碳化鎢等超高純度、耐高溫、耐腐蝕的陶瓷涂層材料的基礎(chǔ)研究以及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，最終將技術(shù)成功轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。

半導(dǎo)體涂層材料作為各類芯片上道工藝的關(guān)鍵耗材，一直以來被國外領(lǐng)先的企業(yè)壟斷，但在全球技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的大背景下，該類材料的國產(chǎn)化日益緊迫。因此，該項(xiàng)目的通過并獲得資助，對(duì)開展先進(jìn)陶瓷涂層材料具有極大的推動(dòng)作用，未來通過實(shí)驗(yàn)室成果轉(zhuǎn)化，為六方科技持續(xù)引領(lǐng)先進(jìn)涂層技術(shù)奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

碳化鉭涂層產(chǎn)品

關(guān)于六方半導(dǎo)體

六方半導(dǎo)體是成立于2018年的半導(dǎo)體涂層材料公司，以SiC涂層為切入口，并已向TaC涂層、Solid SiC領(lǐng)域拓展，主要產(chǎn)品包括應(yīng)用于LED外延、第三代半導(dǎo)體外延、光伏領(lǐng)域的SiC涂層材料等。目前，公司TaC產(chǎn)品、晶舟等產(chǎn)品已開始逐步商業(yè)化，Solid SiC等產(chǎn)品處于商業(yè)化起始階段。該類型產(chǎn)品服務(wù)于快速增長的第三代半導(dǎo)體襯底、國產(chǎn)化率接近零的集成電路關(guān)鍵工藝領(lǐng)域，增長潛力大。

來源：六方半導(dǎo)體、鏈榜

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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