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        【原創(chuàng)】揭秘!為何CMP工藝離不開磨料粒度分析的極致掌控?——訪儒亞科技(北京)有限公司總經(jīng)理熊向軍


        來源:中國粉體網(wǎng)   空青

        [導(dǎo)讀]  儒亞科技(北京)有限公司總經(jīng)理熊向軍的專訪。

        中國粉體網(wǎng)訊  7月9日,由中國粉體網(wǎng)主辦的“2024高端研磨拋光材料技術(shù)大會”在河南鄭州成功召開。會議期間,我們邀請到多位專家學(xué)者、企業(yè)家代表做客“對話”欄目,圍繞高端研磨拋光材料的技術(shù)與應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展方向進(jìn)行了訪談交流。本期,我們分享的是儒亞科技(北京)有限公司總經(jīng)理熊向軍的專訪。



        中國粉體網(wǎng):請熊總從主營產(chǎn)品、企業(yè)規(guī)模、研發(fā)實力等方面介紹一下儒亞科技。


        熊總:首先非常感謝中國粉體網(wǎng)的邀請。我先介紹一下儒亞科技(北京)有限公司,我們公司坐落在北京市海淀區(qū),是國家高新技術(shù)企業(yè)。我們的主營產(chǎn)品都是關(guān)于粉體顆粒的粒度分析產(chǎn)品,或者是粉體性能分析有關(guān)的產(chǎn)品,主要包括有CPS納米粒度儀、EyeTech激光粒度粒形分析儀等粉體粒度分析儀器,還有一些與粒度分析樣品制備相關(guān)的工具。另外,公司在工業(yè)在線分析領(lǐng)域也提供相應(yīng)的粒度分析產(chǎn)品,比如像在潤滑油和液壓油等應(yīng)用過程中的顆粒分析。此外,我們公司自己還擁有一個完善的粉體測試相關(guān)實驗室,大概有二十余套的分析儀器和設(shè)備,我們在整個固定資產(chǎn)上也做了大量的投入。


        中國粉體網(wǎng):請問熊總,公司的產(chǎn)品主要服務(wù)于哪些行業(yè)?


        熊總:我們的產(chǎn)品從大類上來講,是分為實驗室和在線兩個產(chǎn)品線。服務(wù)的行業(yè)除了高校、科研單位和政府部門、事業(yè)單位之外,我們還服務(wù)于像石油化工、精細(xì)化工、食品制藥、半導(dǎo)體和集成電路、光伏風(fēng)電等新能源、新材料、機(jī)械加工、工業(yè)自動化、港口船舶、工程機(jī)械等等行業(yè)。


        中國粉體網(wǎng):請問熊總,為什么需要對磨料的粒度進(jìn)行嚴(yán)格、準(zhǔn)確的檢測?


        熊總:目前我了解到的磨料的應(yīng)用有兩個方向,半導(dǎo)體和光伏行業(yè)。磨料主要用于拋光,提到拋光就會涉及到拋光速率,也就是去除率。拋光液中磨料的顆粒尺寸對拋光表面的表面質(zhì)量及拋光速率有著顯著的影響,同時和它的形貌特性也有很有大的關(guān)系。而半導(dǎo)體行業(yè)中拋光液離不開磨料的發(fā)展,那么磨料的顆粒表征尤為重要。所以說在拋光領(lǐng)域中,都會對顆粒粒度進(jìn)行控制


        中國粉體網(wǎng):粒度檢測的方法有哪些?背后的原理是什么?


        熊總:粒度檢測的方法其實有很多,傳統(tǒng)的粒度檢測方法像篩分法、圖像分析法等等。我們公司的CPS納米粒度儀是利用高速離心沉降法進(jìn)行粒度檢測,這種方法最大的優(yōu)勢就是還原真實粒度分布結(jié)果,而且具有極高的分辨率和最低0.01微克的超低樣品分析能力;這款儀器可以區(qū)分測出僅僅相差1%的兩個粒度峰。此外,我們的EyeTech激光粒度粒形分析儀采用的是激光光阻法和動態(tài)圖像分析的激光視頻雙測量通道的分析方法,可以實現(xiàn)與材料物性無關(guān)的粒度分析,與市面上大多數(shù)粒度分析儀器有很大的不同,更適合分析組分不確定、不固定或者組分未知的樣品,以及混合物樣品。


        中國粉體網(wǎng):在CMP研磨拋光領(lǐng)域,儒亞科技能提供哪幾款產(chǎn)品?它們的特色是什么?


        熊總:其實就像剛剛我在介紹粒度分析方法里面有提到的,我們提供的主要是兩大類,三個產(chǎn)品。第一個就是CPS納米粒度儀,這款儀器的優(yōu)點(diǎn)是:可測粒度范圍很大,從5納米到75微米,涵蓋了納米、亞微米到微米級別的磨料分析。第二個EyeTech激光粒度粒形分析儀,主要用于微米級別的粒度分析,這個儀器的的可測范圍也很廣,從0.1微米到3600微米,同時該儀器除了傳統(tǒng)的激光通道之外,還帶有一個視頻分析的通道。也就是說使用激光通道進(jìn)行粒度分析的同時還可以得到樣品的圖像,這樣可以基于動態(tài)的圖像分析,對顆粒的形貌參數(shù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。這也能滿足目前市場對CMP工藝參數(shù)的要求。


        第三就是PD-10干粉分散器,主要用于電鏡或光學(xué)顯微鏡進(jìn)行粉體的粒度分析時的樣品制備。電鏡或者顯微鏡粒度觀察分析的一個痛點(diǎn)就是干粉樣品的分散制樣是非常麻煩的,為解決這個問題,我們公司開發(fā)了PD-10干粉分散器。這樣可以非常方便的幫助我們用戶進(jìn)行干粉樣品的制備,它最大的優(yōu)點(diǎn)就是能夠消除人為的操作誤差。因為在很多實驗室,不同人操作同一臺儀器進(jìn)行粒度分析會出現(xiàn)不同的結(jié)果,而通過使用這款設(shè)備,可以替代人為操作,解決分析制備中出現(xiàn)的人為操作誤差的問題。


        中國粉體網(wǎng):好的,今天的采訪就到這里,感謝熊總接受采訪,謝謝


        (中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青)

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        作者:空青

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