中國粉體網(wǎng)訊 隨著高精尖產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,高純石英的需求量快速增長,并且對其質量要求也愈來愈高。生產(chǎn)高純石英砂的方法主要有兩大類:一是物理法,也叫機械粉碎法;二是化學合成法。目前高純石英砂主要通過天然石英礦石提純得到,產(chǎn)能與高品質礦源密切相關,高純石英砂產(chǎn)業(yè)主要被擁有高品質高純石英原料礦的海外企業(yè)壟斷。
隨著全球范圍內天然水晶和高品質石英礦脈的逐漸枯竭,化學合成石英砂的工藝逐漸得到研究和重視。
合成石英砂的制備方法
氣相合成法
氣相合成法即火焰水解法,與氣相白炭黑工藝類似,其原理是采用硅或有機硅的氯化物(如SiCl4或CH3SiCl3等)原料,將其氣化后與氫氣、氧氣混合,在高溫下發(fā)生水解形成霧狀的SiO2,最后通過冷卻、分離、脫酸等氣固分離得到產(chǎn)品。該法得到的產(chǎn)品為氣相SiO2,粒徑小于100nm,外觀蓬松多孔,比表面積大,化學純度高,分散性較好。
氣相合成法制備SiO2流程圖
氣相合成法生產(chǎn)流程簡單,合成條件易控制,反應速度快,適合大規(guī)模生產(chǎn);由于過程中需要高溫環(huán)境,反應生成的HCl會嚴重腐蝕設備,因此對生產(chǎn)設備的材質、加熱形式等要求比較嚴格。由于氣相法耗能大,加工成本較高,還需在反應條件與設備選型等方面進一步地探討和研究。
化學沉淀法
化學沉淀法是合成石英粉體較為廣泛的方法之一。沉淀法生產(chǎn)SiO2的原理:采用硅酸鈉與二氧化碳或酸溶液(加鹽酸、硫酸或硝酸)作為原料,在一定的合成溫度和表面活性劑的作用下混合反應,得到偏硅酸沉淀,再經(jīng)過濾、洗滌、干燥、煅燒工序制備出SiO2。
沉淀法制備SiO2流程圖
該生產(chǎn)工藝具有操作方便,生產(chǎn)流程簡單,原料易得,能耗低等優(yōu)點;但是Fe3+、Al3+、Ca2+等雜質的存在會促成凝塊的形成,嚴重影響產(chǎn)品的質量,導致產(chǎn)品性能差、純度低、粒徑大,易發(fā)生團聚;也存在著反應體系的濃度較低、沉淀速度快、沉淀過程不易控制的缺點;另外,廢酸、廢水的處理給環(huán)境帶來一定的破壞。
溶解-凝膠法
溶膠-凝膠法是以無機鹽或者金屬醇鹽(一般為硅酸乙酯)為原料,以醇作為共溶劑,加入酸或堿溶液作為催化劑,進行水解,縮聚反應形成SiO2凝膠,過濾并對凝膠中的有機溶劑進行洗滌,干燥、煅燒得到SiO2粉體。
采用該方法制備SiO2生產(chǎn)流程簡單,合成條件易控制,對設備材料的要求不嚴格,且過程中無其他添加劑,所以制備出的SiO2純度較高、均勻度好、比表面積大。但是,成本較高,生產(chǎn)周期長,工業(yè)化價值不大;另外,因為實驗過程中可變因素較多,不能達到準確控制(如水解體系、干燥方式及燒結途徑等),目前只停留在實驗室小試階段。
四氯化硅液相水解法
四氯化硅液相水解法的原理是SiCl4與純水接觸發(fā)生水解或縮聚反應,之后將反應產(chǎn)物經(jīng)洗滌、過濾、干燥、煅燒、篩選等流程,制備SiO2粉體。
采用SiCl4液相水解法制備高純石英粉,由于原料中不含碳,故制備得到的SiO2粉體純度較高、羥基含量較低。但是,在規(guī);a(chǎn)過程中,四氯化硅與水發(fā)生的水解和縮聚反應劇烈,中間過程難以管控,粉體易團聚,形成的石英粉致密度較低。因此,為了滿足產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),該法仍需更深入地探究其工藝控制(如水解控制、干燥及燒結過程等),有效減少顆粒團聚現(xiàn)象的發(fā)生。
合成石英砂的應用
合成石英砂的生產(chǎn)不依賴于天然石英礦產(chǎn),可通過化工工藝制備。又因為其純度更高、光學性能更良等特性,除了在光伏、高端光學領域得到廣泛應用以外,也符合半導體制程對石英制品高純、無污染、耐高溫的要求,尤其是隨著半導體芯片線寬越來越窄,普通的天然石英材料已經(jīng)無法滿足高端生產(chǎn)工藝的要求。
半導體與光伏用石英制品類型基本一致,但與光伏相比,半導體用石英制品在純度、表面顆粒物、尺寸精度等方面要求更為苛刻,最高級別純度要求近6N,且需通過半導體設備廠商的認證,合成石英砂可滿足此純度要求。
2025年3月27日,由中國粉體網(wǎng)主辦的“2025第三屆集成電路及光伏用高純石英材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”將在江蘇東海召開,來自湖北菲利華石英玻璃股份有限公司的產(chǎn)品業(yè)務經(jīng)理朱夢瑤,將做題為《合成石英砂的制備工藝及應用介紹》的報告,屆時,她將結合菲利華產(chǎn)品研發(fā)經(jīng)驗,詳細介紹合成石英的生產(chǎn)與制備。
參考來源:
張鵬遠.合成石英砂工藝概況及幾種石英砂的檢測數(shù)據(jù)對比分析
李愛民.高純合成石英的制備技術和應用
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末)
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