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        如何利用旋轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)晶圓定位?

        如何利用旋轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)晶圓定位?
        麥奇克/Microtrac  2025-02-25  |  閱讀:213

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        半導(dǎo)體行業(yè)中硅和其他晶圓的接觸角測(cè)量用于評(píng)估清潔度、表面處理均勻性和光刻膠粘附性。晶圓的直徑通常在4英寸至12英寸之間。理想情況下,晶圓上的接觸角測(cè)量可以通過(guò)自動(dòng)定位整個(gè)晶圓來(lái)完成,而無(wú)需用戶(hù)干預(yù)。對(duì)于小晶圓,可以通過(guò)自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)和滴液器來(lái)實(shí)現(xiàn),但當(dāng)晶圓直徑為12英寸時(shí),需要額外的旋轉(zhuǎn)軸來(lái)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)定位。在這篇文章中,詳細(xì)解釋了旋轉(zhuǎn)臺(tái)的使用。


        Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

        Theta Flow Wafer晶圓接觸角測(cè)量?jī)x是一款專(zhuān)為測(cè)量晶圓接觸角而設(shè)計(jì)的特殊儀器。它由Theta Flow光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x主機(jī)、可配置四個(gè)可拋棄滴液頭的自動(dòng)滴液器和帶自動(dòng)旋轉(zhuǎn)的全自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)組成。儀器中的四個(gè)滴液器允許使用幾種不同的測(cè)量液體進(jìn)行表面自由能測(cè)量,或者如果所有四個(gè)滴液器都用水,則可以有更長(zhǎng)的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間。自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)與旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)一起使晶圓自動(dòng)移動(dòng),以定位整個(gè)表面。


        晶圓的定位

        晶圓樣品臺(tái)包括電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)以及單獨(dú)的晶圓臺(tái)面。晶圓臺(tái)面包括可移動(dòng)的插銷(xiāo),可以根據(jù)所用晶圓的尺寸進(jìn)行定位。插銷(xiāo)將引導(dǎo)和確保晶圓的可重復(fù)定位。此外,旋轉(zhuǎn)臺(tái)已經(jīng)配備真空連接口,如果需要,可以增加額外的固定。


        自動(dòng)晶圓定位—設(shè)置測(cè)量

        要自動(dòng)測(cè)量晶圓上不同位置的接觸角,需要一些初始設(shè)置。一旦設(shè)置好參數(shù),就可以根據(jù)需要對(duì)更多的晶圓進(jìn)行相同的測(cè)量。此外,可以保存測(cè)試方法,這允許在不同批次晶圓之間使用相同的測(cè)量參數(shù),確保測(cè)量的可重復(fù)性。


        自動(dòng)晶圓定位—測(cè)量

        設(shè)置好方法后,單擊開(kāi)始按鈕即可開(kāi)始測(cè)量。軟件將把樣品移動(dòng)到第一個(gè)測(cè)量位置,滴出所需大小的液滴,將其放置在晶圓上,并測(cè)量接觸角。取接觸角的時(shí)間點(diǎn)在方法中設(shè)置。接觸角在拍攝點(diǎn)的晶圓圖像上實(shí)時(shí)顯示。然后,軟件將自動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)到晶圓中的下一個(gè)位置。


        Biolin Theta系列 晶圓接觸角測(cè)量?jī)x

        高端晶圓全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x器


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        支持晶圓接觸角測(cè)量的軟件功能

        ? 批量模式,用于對(duì)一排多個(gè)晶圓進(jìn)行快速測(cè)量。

        ? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法,可進(jìn)行更深入的分析。


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        (晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái))


        應(yīng)用

        ? 研究表面清潔度

        接觸角測(cè)量可以評(píng)估晶圓的清潔度,從而來(lái)評(píng)估表面污染物和殘留物的去除情況。

        ? 確定表面自由

        能通過(guò)測(cè)量接觸角,可以推斷出表面自由能,這對(duì)于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。

        ? 了解粘附性能

        接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。

        ? 研究親水性/疏水性

        測(cè)量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水,從而影響光刻和蝕刻等工藝。

        ? 用于質(zhì)量控制

        定期的接觸角測(cè)量可以作為質(zhì)量控制過(guò)程的一部分,以確保晶圓加工和處理的一致性。


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        瑞典百歐林科技有限公司

        是一家專(zhuān)注于界面分析、薄膜制備與表征和分子間相互作用領(lǐng)域的先進(jìn)科研儀器生產(chǎn)商,是該研究領(lǐng)域的開(kāi)創(chuàng)者和領(lǐng)導(dǎo)者。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋表界面、材料科學(xué)、生物科學(xué)、藥物開(kāi)發(fā)與診斷等眾多研究領(lǐng)域。


        大昌華嘉科學(xué)儀器作為百歐林中國(guó)區(qū)Attension系列產(chǎn)品總代理,我們?yōu)榻佑|角及表面張力的用戶(hù)提供完善的售前、售后服務(wù)及全面的技術(shù)和應(yīng)用支持。

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