金屬離子摻雜的TiO_2-SiO_2增透膜的制備及性能

編號(hào)：FTJS00530

篇名：金屬離子摻雜的TiO_2-SiO_2增透膜的制備及性能

作者：鄭娜; 康浩; 郭慶磊; 潘靜; 胡曉云;

關(guān)鍵詞：增透膜; sol-gel法; 金屬離子摻雜; TiO2-SiO2薄膜;

機(jī)構(gòu)： 西北大學(xué)物理學(xué)系;

摘要： 為了得到高增透的TiO2-SiO2薄膜,采用sol-gel法制備了金屬離子摻雜的TiO2-SiO2薄膜,并對(duì)其透射光譜和薄膜厚度進(jìn)行了表征,研究了退火溫度及不同金屬離子摻雜(Al3+、Fe3+和Zn2+)對(duì)TiO2-SiO2薄膜增透性能的影響。結(jié)果表明:Al3+、Fe3+可提高薄膜在可見光波段的增透性,其中,摻雜Al3+的摩爾分?jǐn)?shù)為0.4%的薄膜,未經(jīng)退火處理的增透性能最佳(透射率可達(dá)98%)。摻雜Fe3+使薄膜的截止波長紅移量最大,約為14nm。