編號(hào)：NMJS05878
篇名：電子元件用含He納米晶鈦膜高溫退火后的He相關(guān)缺陷變化
作者：洪超
關(guān)鍵詞：退火處理 缺陷結(jié)構(gòu) 含He納米晶鈦膜
機(jī)構(gòu)： 景德鎮(zhèn)陶瓷學(xué)院機(jī)電學(xué)院
摘要： 退火處理對(duì)材料的缺陷結(jié)構(gòu)有一定的影響。本文以鈦圓盤作為陰極靶,Si作為襯底,采用直流磁控濺射制備不同濃度的電子元件用含He納米晶鈦膜,然后對(duì)其進(jìn)行高溫退火處理后進(jìn)行觀察分析。最后得到結(jié)論,電子元件用含He納米晶鈦膜中生成有擇優(yōu)取向的TiSi2晶體,經(jīng)過(guò)退火處理后的試樣鈦膜表面層以及保護(hù)層的缺陷結(jié)構(gòu)產(chǎn)生變化。該研究為含He納米晶鈦膜的研究應(yīng)用提供了有用參考。
