編號(hào)：CPJS05317
篇名：柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層
作者：金德里奇·繆塞爾
關(guān)鍵詞：硬質(zhì)納米復(fù)合涂層 微觀結(jié)構(gòu) 宏觀應(yīng)力 力學(xué)性能 能量 柔性 裂紋抑制 磁控濺射
機(jī)構(gòu)： 西波西米亞大學(xué)物理和NTIS部,捷克比爾森CZ-30614
摘要： 研究了利用磁控濺射方法制備的柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層。結(jié)果表明柔性硬質(zhì)納米復(fù)合涂層具有以下優(yōu)異性能：是一類具有高硬度、高韌性以及抗裂紋性能的新型涂層;具有較高的硬度模量比（H/E＊≥0.1,E＊=E/（1-ν2））、彈性恢復(fù)系數(shù)（We≥60%）、壓應(yīng)力（σ〈0）L,且少缺陷的微觀結(jié)構(gòu);生長(zhǎng)處于Thornton結(jié)構(gòu)區(qū)域相圖的T區(qū)。磁控濺射非常適合制備納米復(fù)合涂層,文中將對(duì)其制備柔性納米復(fù)合薄膜的機(jī)理做深入闡述。涂層生長(zhǎng)主要受以下3個(gè)參數(shù)影響：涂層生長(zhǎng)過(guò)程中吸收的能量Ep,其包含沉積原子攜帶的能量Eca和轟擊離子攜帶等能量Ebi（Ep=Eca＋Ebi）,基體溫度Ts和涂層材料的熔點(diǎn)Tm。柔性硬質(zhì)涂層具有廣泛的應(yīng)用前景,如柔性保護(hù)涂層、柔性功能涂層、防脆性涂層開(kāi)裂的柔性保護(hù)涂層以及柔性多層涂層。文中還將詳細(xì)闡述低溫磁控濺射制備柔性納米復(fù)合涂層的原理,并闡述納米復(fù)合涂層及其性能的發(fā)展趨勢(shì)。
