編號：NMJS06386
篇名：利用金屬輔助化學腐蝕法在硅表面獲得納米絨面結構以提升多晶硅太陽電池效率
作者：陳森榮 ;梁宗存
關鍵詞： 納米絨面 多晶硅 金屬輔助化學腐蝕 太陽電池
機構： 中山大學物理學院,太陽能系統(tǒng)研究所,廣州510275
摘要： 在硅片表面制備絨面結構能夠有效降低太陽光在硅片表面的反射損失，是提高太陽能電池轉換效率的一條重要途徑。通過真空熱蒸發(fā)法在多晶硅片上沉積納米銀顆粒，利用金屬輔助化學腐蝕（MACE）法，制備了不同腐蝕時間下的納米絨面結構，其中，腐蝕時間為60 s 的納米絨面的平均反射率低至4.66%（300～1100 nm）。同時，對腐蝕時間為60 s的納米絨面用KOH 溶液進行優(yōu)化處理，將KOH 處理前后的多晶硅片采用常規(guī)電池工藝進行電池制備研究。對比發(fā)現(xiàn)，經過KOH 處理后的電池效率比未經KOH 處理的電池效率提高了0.43%。
