編號(hào)：SBJS00673
篇名：基于懸浮式石墨烯的應(yīng)變傳感器發(fā)展概述
作者：張瑋峰 李曉莉 張子生 尚雅軒 李曉葦
關(guān)鍵詞： 石墨烯 懸浮式 應(yīng)變傳感器 壓力靈敏度
機(jī)構(gòu)： 河北大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院河北省光電信息材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體超晶格國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
摘要： 石墨烯材料具有獨(dú)特的機(jī)械與電學(xué)性質(zhì),迅速成為當(dāng)前科研的熱點(diǎn)�；谑�(gòu)建應(yīng)變傳感器,不僅可以豐富傳感器的構(gòu)建材料,而且借助石墨烯特有的性質(zhì),可以研制出比硅性能更優(yōu)異的應(yīng)力傳感器。本文介紹了近些年來(lái)懸浮式石墨烯應(yīng)變傳感器的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)的發(fā)展,介紹了傳感器的結(jié)構(gòu)、原理、靈敏度等性能,闡述了對(duì)傳感器的結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行改進(jìn)和優(yōu)化的過(guò)程�；趹腋∈绞┑膽�(yīng)變傳感器可應(yīng)用于納機(jī)電系統(tǒng)（NEMS）,在醫(yī)學(xué)、生物等納米領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用潛力。
