編號：CPJS06109
篇名：雙層石墨烯在柵壓調控下的各向異性刻蝕
作者：王國樂 謝立 陳鵬 楊蓉 時東霞 張廣宇
關鍵詞： 石墨烯納米結構 各向異性刻蝕 柵壓 可控加工
機構： 中國科學院物理研究所 北京納米材料與納米器件重點實驗室 量子物質科學協(xié)同創(chuàng)新中心 中國科學院大學物理學院
摘要： 石墨烯納米結構在納電子學研究領域表現(xiàn)出了良好的應用前景.氫等離子體各向異性刻蝕技術是加工石墨烯精細納米結構的關鍵技術之一,可以實現(xiàn)10 nm以下平整的鋸齒型石墨烯納米帶的可控加工.本文系統(tǒng)研究了外加電場對石墨烯各向異性刻蝕效應的影響,利用外加柵壓實現(xiàn)了氧化硅襯底上的雙層石墨烯各向異性刻蝕速率的調控.在±30 V柵壓變化范圍內,刻蝕速率比可達45.由此不僅可以提高大批量加工石墨烯納米結構的效率,還可以實現(xiàn)5 nm以下極小尺寸石墨烯納米帶的可控加工.研究結果為石墨烯精細納米結構器件的高效批量加工提供了思路.
