基片表面應力對類石墨復合膜性能的影響

編號：FTJS07251

篇名：基片表面應力對類石墨復合膜性能的影響

作者：宇文江濤 王佐平 張亞娟 王育召 丁超 龍曉云 符昊

關鍵詞： 非平衡閉合磁控濺射 類石墨復合膜 基片 壓應力 摩擦學性能

機構(gòu)： 中國船舶重工集團西安船舶工業(yè)有限公司 中國船舶重工集團公司第十二研究所

摘要： 試樣基片經(jīng)常規(guī)滲碳、淬火及不同的表面處理后,應用非平衡閉合磁控濺射技術(shù)在其表面鍍制類石墨復合膜,分析不同基片應力狀態(tài)下復合膜的組織和性能,研究基片表面不同應力狀態(tài)對類石墨復合膜性能的影響。結(jié)果表明:表面應力狀態(tài)對類石墨復合膜的形貌、成分、成膜速度及綜合性能有一定的影響,適當?shù)膲簯�力可以有效改善類石墨復合膜的摩擦學性能。