編號(hào)：FTJS07768
篇名：不同粒徑球形氧化鋁的制備及其對(duì)藍(lán)寶石的拋光性能研究
作者：張曼
關(guān)鍵詞： 球形氧化鋁 化學(xué)機(jī)械拋光 藍(lán)寶石 去除速率 表面粗糙度
機(jī)構(gòu)： 合肥工業(yè)大學(xué)化學(xué)與化工學(xué)院
摘要： 采用均勻沉淀法,以硫酸鋁、尿素、PEG-2000為原料,通過(guò)調(diào)整Al^3+濃度制備不同粒徑的球形氧化鋁。采用X射線衍射儀、掃描電鏡對(duì)前驅(qū)體及氧化鋁進(jìn)行表征。將不同粒徑的氧化鋁及外購(gòu)的氧化鋁磨料對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行晶片化學(xué)機(jī)械拋光,利用原子力顯微鏡檢查拋光前后藍(lán)寶石表面粗糙度。結(jié)果表明,自制粒徑360nm的球形氧化鋁具有最好的拋光效果,材料去除率為21.0nm/min,表面粗糙度Ra=0.373nm。
