編號：CYYJ02421
篇名：鈮酸鋰單晶薄膜材料
作者：李青云 朱厚彬 張洪湖 張秀全 胡卉
關鍵詞： 鈮酸鋰 薄膜 離子注入 直接鍵合 化學機械拋光
機構： 山東大學物理學院 山東大學
摘要： 鈮酸鋰晶體集電光、聲光和非線性光學等物理特性于一身,且透光范圍寬,作為一種重要的光學材料被廣泛應用于通信、傳感等領域。通過離子注入與直接鍵合的方式制備出的鈮酸鋰單晶薄膜材料,保留了鈮酸鋰體材料的優(yōu)秀物理特性,并且具有高折射率對比度的優(yōu)點,使光子器件在集成度和性能上都得到了很大程度的提升。本文介紹了鈮酸鋰薄膜的制備及應用,展示了直徑6英寸(1英寸=2.54 cm)的鈮酸鋰單晶薄膜。將硅單晶薄膜覆蓋在鈮酸鋰單晶薄膜上面,形成一種新型的復合薄膜材料,結合了鈮酸鋰出色的光學性能和硅出色的電學性能,本文報道了直徑3英寸的復合薄膜材料,X射線證明硅薄膜是單晶結構,這種復合薄膜在未來的集成光電芯片中具有應用潛力。
