編號：FTJS08549
篇名：MACE法制備多孔硅的形貌及光致發(fā)光性能
作者：張藝 端木慶鐸
關鍵詞： 金屬輔助化學腐蝕(MACE) 多孔硅 形貌 光致發(fā)光 發(fā)光強度
機構： 長春理工大學理學院
摘要： 采用金屬輔助化學腐蝕(MACE)法,通過控制不同的腐蝕時間制備出多孔硅。利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察多孔硅形貌,分析結果表明,隨著腐蝕時間的增加,硅表面腐蝕孔洞變大,孔洞深度增加,同時孔洞深度的增加速率隨之變緩。采用325 nm He-Cd激光光源的熒光光譜儀進行光致發(fā)光測試,研究在325 nm的激發(fā)光下不同腐蝕時間多孔硅的發(fā)光性能。發(fā)光強度與多孔硅的腐蝕時間及形貌有關,腐蝕時間延長,多孔硅形貌改變,多孔硅的發(fā)光強度先增加后減少。腐蝕20 min時多孔硅的發(fā)光強度最大,比腐蝕5 min時增加了74%,發(fā)光峰位基本不發(fā)生變化。多孔硅光致發(fā)光性能的研究可為各種基于多孔硅光電器件的研究提供一定的參考。
