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| CN202210709229.7 | 一種高質(zhì)量氮化硅粉體合成方法 | 2022-09-20 | 大連理工大學(xué) |
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| CN202210769998.6 | 晶圓載具及氮化硅介質(zhì)膜的制備方法 | 2022-10-04 | 北�；菘瓢雽�(dǎo)體科技有限公司 |
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