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SpectraRay/4:光譜橢偏測量/分析軟件

SENDURO®全自動光譜橢偏儀包括基于測量處方的僅在幾秒鐘內(nèi)即可完成的快速數(shù)據(jù)分析。橢圓儀的設計是為了便于操作：放置樣品，自動樣品對準，自動測量和分析結(jié)果。在全自動模式下使用光譜橢偏儀非常適合于質(zhì)量控制和研發(fā)中的常規(guī)應用。

建模

測量參數(shù)可以模擬作為波長、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時間、溫度、薄膜厚度測量和其他參數(shù)的函數(shù)

自動掃描

我們光譜橢偏儀的自動掃描的選項具有預定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計以及數(shù)據(jù)的圖形顯示，如2D顏色、灰度、輪廓、+/-偏離平均值和3D繪圖。

交互模式：

• 設定測量參數(shù)并開始薄膜厚度測量

• 通過從材料庫或從已有的散射模型中拖放來構(gòu)建模型

• 定義和改變參數(shù)以將計算的光譜與實測光譜擬合

• 交互式改進以實現(xiàn)模型

• 通過從預定義或定制的模板中進行選擇，將結(jié)果作為word文檔報告輸出

• 將所有實驗數(shù)據(jù)、協(xié)議和記錄保存在同一個實驗文件中

配方模式：

SpectraRay/4配方模式的優(yōu)點是兩步操作

• 選擇和

• 從材料庫執(zhí)行預定義的配方。

該配方包括厚度測量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報告模板。

SpectraRay/4，SENTECH**所有的光譜橢偏測量軟件，包括數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和橢偏測量、反射和傳輸數(shù)據(jù)的擴展報告。它支持可變角度、多實驗和組合光度測量。SpectraRay/4包括基于SENTECH厚度測量和文獻數(shù)據(jù)的龐大的材料數(shù)據(jù)庫。大量的散射模型允許對幾乎任何類型的材料建模。

SpectraRay/4提供了用戶友好的面向工作流的接口來操作SENTECH光譜橢偏測量工具以及建模、擬合和表示橢偏測量數(shù)據(jù)的綜合工具集。用戶界面結(jié)合了面向操作人員的配方模式以及用于交互式測量和建模的高級模式。

SpectraRay/4具有單軸和雙軸各向異性材料測量、薄膜厚度測量和層測量的功能。該軟件可處理樣品效應，如去極化，非均勻性，散射(米勒矩陣)，以及背面反射。

SpectraRay/4包括用于數(shù)據(jù)導入和導出(包括ASCII)、文件管理、光譜的算術(shù)操作、顯示、打印和報告輸出(Word文件格式*.doc)的通用光譜橢偏測量軟件包的所有實用程序。腳本程序使得它非常靈活，適用于自動化日常測量，為苛刻的應用所研發(fā)，并可控制第三方硬件，如傳感器，加熱臺，樣品電池或低溫恒溫器。