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        OAI Model 800E紫外光刻機(jī)
        OAI Model 800E紫外光刻機(jī)

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        美國(guó)

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        深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

        會(huì)員

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        第2年

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        OAI Model 800E 型掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

        。各種光譜范圍選項(xiàng):Hg燈:G(436nm),H(405nm), I(365nm)和310nm線,Hg-Xe燈:260nm和220nm

        ?;叽绶秶鷱?“8”直徑

        。燈功率范圍從200到2000W或LED

        。電腦操作和配方存儲(chǔ)

        。易于使用的GUI和多功能操縱桿

        。手動(dòng)對(duì)齊在頂部和底部雙2 mp GigE攝像機(jī)和機(jī)動(dòng)的X-Y-Z-Theta舞臺(tái)與操縱桿/菜譜操作

        。升級(jí)到自動(dòng)對(duì)齊w / Cognex軟件升級(jí)

        。楔自動(dòng)補(bǔ)償和機(jī)動(dòng)z軸帶有編碼器和3點(diǎn)水準(zhǔn)升級(jí)選項(xiàng)

        。紅外光學(xué)背面對(duì)齊選擇升級(jí)

        。接近(20um): 3.0um,軟觸點(diǎn):2.0um,硬觸點(diǎn):1um,真空觸點(diǎn):≤0.5um

        。提供正面和背面接觸和對(duì)齊0.5 - 1的準(zhǔn)確性

        。提供半自動(dòng)化/研發(fā)和低容量生產(chǎn)模式

        。適用于MEMS、半導(dǎo)體、Microfludic納米印記,PSS襯底和CLiPP流程

        Model 800E Mask Aligner System

        。 Various Spectra Range Options: Hg Lamp: G (436nm), H (405nm), I(365nm) and 310nm lines, Hg-Xe Lamp: 260nm and 220nm

        。 Substrate sizes range from 4” to 8” diameter or square

        。 Lamp Power range from 200 to 2,000W or LED

        。 PC Operation and Recipe Storage

        。 Easy to use GUI and Multifunction Joystick

        。 Manual Alignment with Top and Bottom Dual 2MP GigE Cameras and Motorized X-Y-Z-Theta Stage with Joystick / Recipe Operation

        。 Upgrade to Auto Alignment w/ Cognex Software Upgrade

        。 Automated wedge compensation and motorized z-axis with encoder and option for 3 Point Leveling Upgrade

        。 IR Optics Backside Alignment Option upgrade

        。 Proximity (20um): <3.0um, Soft Contact: <2.0um, Hard contact: 1um and vacuum contact : ≤ 0.5um

        。 Provides Front and backside exposure and alignment accuracy of 0.5-1um

        。 Available in semi automated / R&D and low volume production modes

        。 Applicable for MEMS, Semiconductor, Microfludic, NanoImprinting, PSS Substrate and CLiPP Processes

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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