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橢偏振動(dòng)光譜
利用紅外光譜中分子振動(dòng)模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量。
傅立葉紅外光譜儀FTIR完全適用
集成賽默飛世爾Thermo Fisher制造的型號(hào)FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用于一般的振動(dòng)光譜。
光譜橢偏儀SENDIRA用于測(cè)量薄膜厚度，折射率，消光系數(shù)以及體材料，單層和多層堆疊膜的相關(guān)特性。特別是覆蓋層下面的層在可見(jiàn)范圍內(nèi)是不透明的，現(xiàn)在也可以進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)可以分析材料的組成和大分子基團(tuán)和分子鏈的走向。
SENTECH光譜橢偏儀SENDIRA是專門(mén)為紅外應(yīng)用(FTIR)設(shè)計(jì)的。緊湊型測(cè)量臺(tái)包括橢圓儀光學(xué)部件，計(jì)算機(jī)控制角度計(jì)，水平樣品臺(tái)，自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡，商用FTIR和DTGS或MCT探測(cè)器。FTIR在400?cm-1 ～6，000?cm-1 (1.7?μm?–?25?μm)光譜范圍內(nèi)提供了極好的精度和分辨率。
光譜橢偏儀SENDIRA主要用于薄層的振動(dòng)光譜分析。應(yīng)用范圍從介質(zhì)膜、TCO、半導(dǎo)體膜到有機(jī)膜層。SENDIRA是由SpectraRay/4 軟件操作，另外還提供了FTIR軟件。
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