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        日本JEOL聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)JIB-4000
        日本JEOL聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)JIB-4000

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        產(chǎn)地

        日本

        樣本

        暫無
        深圳市藍星宇電子科技有限公司

        會員

        |

        第2年

        |

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        日本JEOL聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)JIB-4000

        JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨,沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品,為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較,SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異,這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

        • 產(chǎn)品規(guī)格

        • FIB

        離子源Ga (鎵)液態(tài)金屬離子源
        加速電壓1~30kV(5 kV/步)
        放大倍率×60 (用于視場搜索)

        ×200~×300,000

        圖像分辨率5 nm (30 kV)
        **束流60 nA (at 30 kV)
        可變光闌12 檔(馬達驅(qū)動)
        離子束加工形狀矩形、線狀、點狀
        樣品臺塊狀樣品用 5 軸測角樣品臺

        X:±11 mm

        Y:±15 mm

        Z:0.5 ~ -23 mm

        T:-5 ~ +60°

        R:360°無限

        樣品**尺寸: 28 mmφ(高度13 mm)、50 mmφ(高度2 mm)

        · 主要附件

        · 氣體注入系統(tǒng) (IB-02100GIS2)

        · 碳沉積圓筒 (IB-52110CDC2)

        · 鎢沉積圓筒(IB-52120WDC2)

        · 白金沉積圓筒 (IB-52130WDC2)

        · 側(cè)插式測角樣品臺 (IB-01040SEG)

        · 束流探測器 (IB-04010PCD)

        · 操作面板(IB-05010OP)

        · 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng) (IB-01200SNS)

        · FIB Tip-on(尖端上可以安裝附件的)樣品架(EM-02210)

        · FIB 塊狀樣品用樣品架FIB (EM-02220)

        · FIB 塊狀樣品用樣品架1(EM-02560FBSH1)

        · FIB 塊狀樣品用樣品架2 (EM-02570FBSH2)

        · FE-SEM 樣品架適配器 (EM-02580FSHA)

        · 穿梭移動夾頭Shuttle Retainer EM-02280 (EM-02280)

        · 原位樣品提取系統(tǒng) (EM-02230)

        產(chǎn)品特點:

        · JIB-4000聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。被加速了的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,就能對樣品表面進行SIM觀察 、研磨,沉積碳和鎢等材料。還可以為TEM成像制備薄膜樣品,為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。通過與SEM像比較,SIM像能清楚地顯示出歸因于晶體取向不同的電子通道襯度差異,這些都非常適合于評估多層鍍膜的截面及金屬結(jié)構(gòu)。

        · 高性能FIB鏡筒

        · JIB-4000采用高性能的FIB鏡筒,**離子束流高達 60 nA,能進行快速研磨。大電流下的快速加工尤其適合于大面積的研磨,制備100 μm以上用來觀察的截面非常輕松。

        · 用戶友好的FIB裝置

        · JIB-4000高性能的 FIB鏡筒具有出色的可操作性。用戶友好的外觀和GUI設(shè)計,建立了使用方便的FIB系統(tǒng)。即使不是FIB專家也能夠輕松操作,此外,該裝置小巧緊湊為業(yè)界*小體積,安裝地點的選擇范圍很大。

        · 雙樣品臺

        · JIB-4000標配的塊狀樣品馬達驅(qū)動樣品臺可供塊狀樣品使用,此外還可以增配側(cè)插式測角臺(TEM用Tip-on 樣品架可以直接插入)。塊狀樣品馬達驅(qū)動樣品臺能觀察整個表面為20 mm x 20 mm的塊狀樣品,樣品交換可以通過氣鎖式系統(tǒng)快速進行。側(cè)插式測角臺與JEOL的TEM系統(tǒng)使用的相同,因此Tip-on (尖端上可以安裝附件的)樣品架與JEOL的TEM系統(tǒng)可以通用,這樣,F(xiàn)IB加工和TEM觀察的反復(fù)交替就能很容易地進行。

        · 豐富的附件

        · 有各種附件可用來支持JIB-4000的操作。包括對電路修改應(yīng)用特別有效的CAD導(dǎo)航系統(tǒng),對特殊形狀加工有效的矢量掃描系統(tǒng)等。通過給JIB-4000安裝適當?shù)母郊?,該系統(tǒng)可以支持樣品制備以外的應(yīng)用。

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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