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        日本JEOL熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7610FPlus
        日本JEOL熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7610FPlus

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        深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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        日本JEOL熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7610FPlus

        · 廣受好評的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn),實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。

        產(chǎn)品規(guī)格:

        產(chǎn)品特點:

        廣受好評的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn),實現(xiàn)了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

        此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點如下:

        ◇ 半浸沒式物

        半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場,因而可以獲得超高分辨率。

        ◇ High Power Optics

        High Power Optics 是獨特的電子光學(xué)系統(tǒng),既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

        浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍,可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍(FEG)的探針電流,**光闌角控制鏡(ALC)在探針電流增大時也能保持小束斑,兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng),從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的*小物鏡光闌而不需要改換。

        浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃

        浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合,可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。

        **光闌角控制鏡(ACL)

        **光闌角控制鏡(ACL)配置在物鏡的上方,在整個探針電流范圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此,即使照射樣品的探針電流很大,與傳統(tǒng)方式相比,也能獲得很小的電子束斑。

        即使探針電流很大,束斑直徑也很小

        長時間分析時穩(wěn)定度也很高

        浸沒式消特基場發(fā)射電子槍能獲得穩(wěn)定的電子探針

        ◇ 柔和電子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

        柔和的電子束模式(GB模式)通過給樣品添加負(fù)電壓,從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓,因此可以在低加速電壓下(*低100V)進(jìn)行高分辨觀察。

        由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小,就會容易地觀察樣品淺表面的精細(xì)結(jié)構(gòu),能減少對熱敏樣品的的損傷,可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。

        JSM-7610Plus 在GB模式下(1KV)的分辨率為1.0nm

        GB 模式的效果

        GB 模式在低電壓下提高分辨率

        左圖一般模式,右圖GB模式

        增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率

        ◇ r-過濾器

        新一代 r-過濾器 是由二次電子控制電極,背散射電子控制電極,過濾器電極組合而成的獨特的能量過濾器。當(dāng)電子束照射樣品時,從樣品表面會釋放出各種能量的電子,新一代r-過濾器 通過組合多個靜電場使電子束保持在透射系統(tǒng)的中央,同時還對樣品中產(chǎn)生的二次樣品和背散射電子進(jìn)行選樣和檢測。

        新一代 r-過濾器*多能獲得3倍于舊機(jī)型的信號量。

        新一代 r-過濾器 檢測信號的方法

        ◇ LABE檢測器(選配件)

        LABE(Low Angle BE)檢測器能檢測低角度背散射電子。在低加速電壓下對樣品表面精細(xì)的形貌信息,在高加速電壓下對樣品的組分信息都能進(jìn)行高分辨觀察。

        利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像

        ◇ 擴(kuò)展性

        能譜儀(EDS)

        High Power Optics 能充分發(fā)揮EDS(SDD)檢測器的特長,即使探針電流很大,也不容易飽和。使用低加速電壓,大探針電液能在短時間內(nèi)獲取清晰的面分布圖。下面的圖像顯示了在2分針內(nèi)可以對鎳基板表面上極薄的石墨烯薄膜進(jìn)行分析。

        使用基本型SDD nm2 檢測器也能在短短的30秒鐘內(nèi)測試100nm厚的多層膜截面。

        波譜儀(WDS)

        由于High Power Optics 在大探針電流時也能提供很小的電子束斑,因此能充分發(fā)揮WDS的特長,使用WDS可以確認(rèn)用EDS判斷的樣品的濃度差等。

        陰極熒光系統(tǒng)(CL)

        陰極熒光是電子束照射樣品時產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象,從樣品中發(fā)出的光經(jīng)拋物面反射鏡(聚光鏡)聚焦后被檢測出來。

        下面的數(shù)據(jù)是金剛石(1KW)的二次電子圖像和用衍射光柵獲得的CL像。用低加速電壓觀察CL像,可以在高分辨率下觀測到金剛石的表面缺陷。

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