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        離子濺射儀MC1000
        離子濺射儀MC1000

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        產(chǎn)地

        日本

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        暫無
        似空科學(xué)儀器(上海)有限公司

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        采用磁控型電極,**限度地減輕對樣品的損壞。

        特色

        • 采用LCD觸摸屏,可以更加簡便地設(shè)定加工條件

        • 可處理較厚或較大的樣品(選配件)

        • 記憶功能可存儲常用加工條件

        規(guī)格

        項(xiàng)目說明
        放電類型磁控二極管放電型(電場垂直于磁場)
        電極組成反向平行盤(嵌入磁鐵)
        電壓** 0.4 kV DC(直流可變)
        電流** 40 mA DC
        噴鍍速率*1(**)

        [條件]

        壓力:7 Pa

        放電電流:40 mA

        標(biāo)靶與樣品表面之間的距離:20 mm

        Pt 靶(選配件)15 nm/min
        Pt-Pd 靶(選配件)20 nm/min
        Au 靶(選配件)35 nm/min
        Au-Pd 靶(選配件)25 nm/min
        樣品尺寸**直徑φ60 mm
        **高度20 mm
        機(jī)械泵135/162 l/min (50/60Hz)
        靶材*2Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
        電源要求單相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-針插頭線纜(3 m)
        尺寸寬度450 mm
        長度391 mm
        高度390 mm
        重量主機(jī):約 25 kg

        機(jī)械泵:約 28 kg

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        易用性

        10分

        性價比

        10分
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