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時間分辨精細陰極熒光分析系統(tǒng)
SEM-CL時間分辨精細陰極熒光分析系統(tǒng)是由瑞士attolight公司設計并制造的，并獲得R&D top100 創(chuàng)新大獎。
應用領域
– LED的性能和可靠性
– GaN功率晶體管
– 線位錯密度(TDD)
– 載流子壽命測試和動力學
– 晶體缺陷研究
– 太陽能電池的效率
– 納米尺度光電器件的研發(fā)
– 寬禁帶半導體研究
設備特點
• 可實現(xiàn)定量測量的陰極熒光分析系統(tǒng)SEM-CL
• 300μm直徑的視場
• 優(yōu)于10nm的空間分辨率
• 10ps的時間分辨率
• Schottky場發(fā)射槍（連續(xù)系統(tǒng)）和皮秒脈沖光電槍（時間分辨模式）
• 樣品溫度范圍：20K-300K，位移精度1nm
高性能光學與SEM系統(tǒng)：
簡單易用，大視野，高分辨
Attolight SEM-CL系統(tǒng)自帶有集成了光鏡的掃描電子顯微鏡（10nm空間分辨率）。光鏡被嵌入在掃描電鏡的電子物鏡，使兩者的視場相互匹配。獲取陰極熒光圖從未如此簡單：無需調準光路，光鏡的存在幫助完成了樣品定位。系統(tǒng)經過優(yōu)化，在不犧牲掃描電鏡性能的同時獲得了優(yōu)越的陰極熒光性能。它提供了一個優(yōu)秀的光學光圈 (f/0.5)，和在整個視場范圍內恒定的高光子收集效率。同時，它工作在低電子束的能量范圍內 (3-10kV)，可獲得更高分辨的陰極熒光圖。
Schottky場發(fā)射電子槍和皮秒脈沖光電子槍：
連續(xù)工作模式和時間分辨工作模式
電子槍類型是決定電鏡性能的重要參數(shù)。attolight SEM-CL采用特殊設計的肖特基（Schottky）場發(fā)射電子槍，提供高亮度高相干的電子束，在樣品上產生的熒光空間分辨率好于10nm。
Attolight SEM-CL系統(tǒng)同時具有時間分辨選項的陰極熒光分析系統(tǒng)，可實現(xiàn)10ps時間分辨率。時間分辨的陰極熒光分析系統(tǒng)將是研究光電材料載流子動力學和壽命的**工具。
定量測量陰極熒光發(fā)光
Attolight SEM-CL系統(tǒng)能夠實現(xiàn)定量測量不同樣品的陰極熒光發(fā)光。受益于獨特的設計，它能夠甄別并發(fā)現(xiàn)超痕量雜質，以及某些在其他成像模式下不可見的晶體缺陷的能力，為研究及開發(fā)半導體材料、熒光粉、陶瓷、巖石和玻璃提供了新的可能。
工作模式
• 光學顯微鏡成像
• 陰極熒光測繪（多色，單色和高光譜）
• 二次電子測繪
• 時間分辨陰極熒光（時間分辨選項）
• 二次電子和陰極熒光同步測繪
部分測試數(shù)據(jù)
時間和光譜分辨的氮化硼陰極熒光 | ZnO納米線上不同區(qū)域的熒光壽命研究 |
納米結構在不同波長下的熒光發(fā)射區(qū)域變化 | 晶體缺陷研究（GaN晶體的堆垛層錯觀測） |
GaN表面TD觀測 | 太陽能板表面TiO2納米顆粒觀測 |
ZnO納米帶。CL圖像（左）的獲取不影響二次電子（右）的探測 | |
陰極熒光是探測GaN中線位錯密度的理想工具（左）。由于其附近的非輻射復合，它們在CL圖中顯示為暗點。同樣的區(qū)域通過二次電子掃描無法識別任何線位錯（右）。 | |
ZnO納米線-陰極熒光光譜分析 | |
量子點異質結 - 陰極熒光光譜測量 | |
金剛石 - 陰極熒光光譜分析 | |
光伏材料 - 陰極熒光光譜測量 | |
暫無數(shù)據(jù)！
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