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XRD-OEM的特點(diǎn)▼

l 可以集成任何自動(dòng)化或處理系統(tǒng)且適用于極端環(huán)境(研磨、鋸切)

l 緊湊、標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)接口

l 獨(dú)立定位測(cè)量，可測(cè)量平面或圓周

l 光學(xué)等級(jí)檢測(cè)

l 解決了行業(yè)難題:

① 如果加工設(shè)備和定向測(cè)量是分開(kāi)的，那么就會(huì)因?yàn)闃悠忿D(zhuǎn)移而造成定向誤差

② 市場(chǎng)對(duì)于精確對(duì)齊的晶圓的需求量越來(lái)越大

l 將測(cè)量過(guò)程整合到工業(yè)生產(chǎn)中（研磨或鋸切）

技術(shù)參數(shù)▼

l 可測(cè)量材料：硅，碳化硅，砷化鎵及更多

l 樣品尺寸：鋼錠直徑450毫米

l 冷卻：空氣，低噪音

l 可能的用途：在鋸/磨/平/缺口檢測(cè)前對(duì)大型晶錠進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)

應(yīng)用實(shí)例▼

硅錠取向:

磨削前對(duì)平面和缺口位置的檢測(cè)

樣品直徑可達(dá)8 "，長(zhǎng)度可達(dá)40厘米

XRD-OEM適配普遍的打磨設(shè)備▼

無(wú)需移動(dòng)樣本即可進(jìn)行定向，可與打磨產(chǎn)線相結(jié)合直接進(jìn)行在線檢測(cè)

可以直接集成到基礎(chǔ)機(jī)圓磨床72/856上