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濕法顯影掩膜版清洗系統(tǒng)
手動(dòng)型SCS112
SCS112型是一款高效率手動(dòng)型的系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)用于在劃片或劃片后清洗晶片?？赏ㄟ^(guò)施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來(lái)清潔安裝在環(huán)（抓環(huán)）或膠片框架上的晶圓，然后使用高轉(zhuǎn)速，氮?dú)廨o助或紅外加熱燈進(jìn)行快速干燥。該系統(tǒng)**可處理8英寸晶圓。
功能：
可處理高達(dá)8英寸的晶圓，包括未安裝的晶片以及膠帶環(huán)形和薄膜框架安裝晶片。
振蕩高壓直流水，風(fēng)扇射流組裝(取決于高達(dá)1500或2000磅/平方英寸配置上)或霧化噴霧噴嘴，高效清潔。
快速有效干燥的氮?dú)獯祾吆脱h(huán)結(jié)束時(shí)的氮晶片提升。
微處理器控制并儲(chǔ)存多種配方。
直流無(wú)刷主軸電機(jī)變速。
DI水凈化，營(yíng)造無(wú)細(xì)菌系統(tǒng)。
內(nèi)置安全聯(lián)鎖和正極蓋，運(yùn)行期間鎖定。
選項(xiàng)：
托盤，**可裝載8英寸晶片
用于干燥的紅外線加熱燈
消除靜電的二氧化碳再生離子器
內(nèi)置排氣鼓風(fēng)機(jī)
真空發(fā)生器
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
型號(hào)：SCS112
可用機(jī)械臂：1
**基板尺寸：高達(dá)8英寸的晶圓片
**主軸速度：2500
配方：*多3
分配：1
尺寸：26英寸寬x 21英寸深x 40英寸高
重量：約200磅
功率：220伏交流電，10安培，50/60赫茲
手動(dòng)型SCSe124
SCSe124型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б?，它經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，擁有各種清潔技術(shù)。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng)，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe124具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù)，并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序。
功能：
可處理直徑高達(dá)10英寸的基板。
主軸組件帶有直流無(wú)刷電機(jī)（可升級(jí)以獲得更多功能）。
可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置。
徑向排氣腔，可實(shí)現(xiàn)**層流。
獨(dú)立式聚丙烯腔室。
微處理器可控制10個(gè)程序段。
內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
按鈕蓋啟動(dòng)打開/關(guān)閉。
觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。
*多可使用2個(gè)機(jī)械臂。
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
型號(hào)：SCSe124
可用機(jī)械臂：2
**基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
**主軸速度：2500
配方：*多10
分配：12
手動(dòng)型SCSe126
SCSe126型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級(jí)清潔的理想解決方案。該系統(tǒng)非?？煽壳揖哂谐杀拘б?，它經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，擁有各種清潔技術(shù)。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項(xiàng)，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g(shù)是結(jié)合了可變轉(zhuǎn)速和可選項(xiàng)加熱DI水，氮?dú)廨o助或加熱燈。SCSe126具有微處理控制器，該控制器可調(diào)整過(guò)程參數(shù)，并儲(chǔ)存多達(dá)10個(gè)程序。
功能：
可處理直徑高達(dá)10英寸的基板。
主軸組件帶有直流無(wú)刷電機(jī)（可升級(jí)以獲得更多功能）。
可調(diào)節(jié)機(jī)械臂速度和行程位置。
•徑向排氣腔，可實(shí)現(xiàn)**層流。
•獨(dú)立式聚丙烯腔室。
•微處理器可控制10個(gè)程序段。
•內(nèi)置安全聯(lián)鎖。
•按鈕蓋啟動(dòng)打開/關(guān)閉。
•觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯(cuò)誤報(bào)告。
•*多可使用4個(gè)機(jī)械臂。
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品：晶圓，光掩膜和基板清潔系統(tǒng)
型號(hào)：SCSe126
可用機(jī)械臂：4
**基板尺寸：直徑10英寸晶圓片
**主軸速度：2500
配方：*多10
分配：12
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