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美國Filmetrics 光學(xué)膜厚測量儀 F60-C膜厚測量儀
自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)
F60-c 光學(xué)膜厚測量儀先進(jìn)的薄膜光譜反射系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及 n&k， 采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以在幾秒鐘的時(shí)間內(nèi)快速的定位所需測試的點(diǎn)并測試厚度， 可隨意選擇一種或極坐標(biāo)形、 或方形、或線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測試點(diǎn)。 針對不同的晶圓尺寸，盒對盒系統(tǒng)可以很容易的自動(dòng)轉(zhuǎn)換，匹配當(dāng)前盒子的尺寸。 49點(diǎn)的分布圖測量只需耗時(shí)約 45秒。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測量。例如
氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
多晶硅 非晶硅 硅
免費(fèi)現(xiàn)場演示/支持
點(diǎn)幾下鼠標(biāo)就可以在網(wǎng)絡(luò)上在線看到現(xiàn)場演示！我們，我們的應(yīng)用工程師會(huì)在電腦上為您演示薄膜測量是多么容易
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