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高分辨紫外波前傳感器
PHASICS公司將SID4產(chǎn)品系列擴(kuò)展到UV波長(zhǎng)。集合了PHASICS所有先進(jìn)技術(shù)(4波橫向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光譜范圍為190到400 nm。
采樣分辨率為250 x 250個(gè)測(cè)量點(diǎn)適合用于測(cè)量光學(xué)器件(可用于光刻、半導(dǎo)體等)和表面檢查(例如晶片檢驗(yàn))。
有高靈敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的檢測(cè)高分辨率紫外解決方案。
主要特點(diǎn)
• 高分辨率(250 x 250)
• 大孔徑(8，0 mm x 8，0 mm)
• 覆蓋UV光譜
• 高靈敏度(0，5 nm)
• 優(yōu)化信噪比
• 適用于光學(xué)測(cè)量
參數(shù)
孔徑 | 8.0 x 8.0 mm² |
空間分辨率 | 32?um |
采樣點(diǎn) | 250 x 250 |
波長(zhǎng) | 190 - 400 nm |
精度 (**模式) | 10 nm |
靈敏度 | 0.5 nm |
動(dòng)態(tài)范圍 | > 200?um |
曲率半徑 | 10 mm到+∞? |
曲率半徑靈敏度 | < 5.10 m |
分割頻率 | 1 fps |
采樣頻率 | 30 fps |
尺寸(l x H x L) | 95 x 105 x 84 mm |
重量 | 900 g |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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