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德國(guó)進(jìn)口JETI過程質(zhì)譜儀Versa PS 2000介紹
過程質(zhì)譜儀 Versa PS 2000 是為在線透射測(cè)定和及時(shí)測(cè)量生產(chǎn)過程中的光層而設(shè)計(jì)的。它也可用于其他光學(xué)測(cè)試，例如：涂覆過程中液體或者反射光的光譜傳輸測(cè)量
PS 2000的特點(diǎn)
·快速精準(zhǔn)測(cè)量 (測(cè)量時(shí)間低至10 μs)
·快速讀取
·多種數(shù)據(jù)接口
·由外部位置傳感器讀出
·性能穩(wěn)定可靠
Versa PS2000的固件能夠預(yù)處理測(cè)量數(shù)據(jù)，所以我們的過程光譜儀能夠處理計(jì)算進(jìn)程數(shù)據(jù)，例如反射率和光層厚度Versa PS 2000也可與一個(gè)外部光源（鹵素?zé)艋蛘唣逇忾W光燈）
應(yīng)用 數(shù)據(jù)
·在線光譜測(cè)試 ·USB (high or full speed)
·真空沉積的過程控制 ·LAN
·薄膜厚度測(cè)試 ·RS 232/ 422/ 485
·儀器儀表分析
·多通道光譜分析系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
·存儲(chǔ)的參考參數(shù)
·數(shù)據(jù)預(yù)處理， 暗信號(hào)矯正， **校準(zhǔn)
·內(nèi)部計(jì)算平均值、插值、傳輸率、反射率、吸收率、色度坐標(biāo)等參數(shù)
·基于DLL的SDK和SCPI（儀器標(biāo)準(zhǔn)指令）可兼容的控制語法
·軟件和硬件的觸發(fā)
規(guī)格參數(shù)
| 光學(xué)參數(shù) | |
| 光譜范圍 | 200 nm ... 1000 nm |
| 光譜儀 | flat field holographic grating， aberration correction mirror |
| 光譜帶寬 | ≤ 4.0 nm FWHM (100 μm slit) ≤ 2.5 nm FWHM (50 μm slit) ≤ 2.0 nm FWHM (30 μm slit) |
| 不對(duì)稱因子 | ≥ 0.7 |
| 光輸入 | 200 mm 光纖帶F-SMA 905接頭 |
| 波長(zhǎng)準(zhǔn)確性 | ≤ 0.2 nm (HgAr 線性光) |
| 波長(zhǎng)重復(fù)性 | ≤0.02 nm (HgAr 線性光) |
| 雜散光 | < 0.2 % (ASTM E387， GG495， 波長(zhǎng) = 420 nm/ 600 nm) |
| 動(dòng)力 | 取決于探頭類型 |
| 探頭 | 25 mm BTCCD， CMOS， NMOS* |
| 電子參數(shù) | |
| 數(shù)字解析度 | 16 bit |
| AD噪聲 | 2 counts RMS |
| 采樣速率 | up to 4 MS/ s |
| 數(shù)據(jù)傳輸率 | up to 40 Mb/ s (via High Speed USB) |
| 集成時(shí)間 | 0.01 ... 65535 ms |
| 觸發(fā)延遲 | 10 μs |
| 抖動(dòng) | ≤2μs |
| 數(shù)據(jù)接口 | USB Ethernet or RS 422/485 RS 232 |
| 電源 | 110 … 220 V or PoE (if Ethernet is used) |
| 機(jī)械參數(shù) | |
| 體積 | 25 cm x 25 cm x 15 cm |
| 重量 | 3 kg |
| 標(biāo)配清單 | 主機(jī)、配套軟件、電源線、JETI軟件開發(fā)包、操作手冊(cè) |
其他配件可依客戶需求訂配
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